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XQ20-GⅡ 大口徑立式激光平面干涉儀

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產(chǎn)品介紹:在傳承XQ15-GⅢ激光平面干涉儀的實用性、耐用性的特點

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25干涉儀_副本.png

產(chǎn)品介紹:

在傳承XQ15-GⅢ激光平面干涉儀的實用性、耐用性的特點??筛鼜V泛適用于大批量生產(chǎn)單位的生產(chǎn)車間大口徑平面及棱鏡平面度檢測、微小楔角測量,更適合于大平板生產(chǎn)流水線快速篩選的應用。


技術(shù)參數(shù):

1.標準平面(A面),工作直徑D1=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

2.第二標準平面(B面),工作直徑D2=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)

3.準直系統(tǒng)…………………………工作直徑Φ250mm,焦距 f = 580mm,波象差<λ/15

4.工作室尺寸……………………………………………1100×1100×350mm

5.光源規(guī)格……………………………………激光ZN250(He-Ne)(632.8nm)。

6.儀器的外形尺寸……………………………… 1400×1250×1560mm(高)

7.儀器質(zhì)量…………………………………………150kg



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