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SEM5000 場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡

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SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。

的鏡筒設計,高壓隧道技術(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設計,實現了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務。

產品特點

01

分辨率高,低加速電壓下實現高分辨成像

02

電磁復合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,可觀察磁性樣品

03

高壓隧道技術(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應,低電壓分辨率得到保證

04

電子光路無交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力

05

水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復性

06

磁偏轉六孔可調光闌,自動切換光闌孔,無需機械調節(jié),實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

產品參數

電子光學系統(tǒng)分辨率1?nm @ 15 kV

1.6 nm @ 1 kV

放大倍率1 x~1,000,000 x
加速電壓20 V~30 kV
電子槍類型高亮度肖特基場發(fā)射電子槍
磁場屏蔽被動式磁屏蔽
主動式磁屏蔽(選配)
成像系統(tǒng)探測器鏡筒內高角度電子探測器
側向二次電子探測器
擴展背散射電子探測器
能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
電子束感生電流(EBIC)
陰極熒光(CL)
圖像保存格式TIFF、JPG、BMP、PNG




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