低溫等離子設(shè)備按凈化方式分為：電暈放電等離子體、介質(zhì)阻擋放電等離子體以及注入式等離子體三類。

       當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生大量電子、離子、原子和自由基在內(nèi)的混合粒子。這些高能活性粒子和廢氣中的污染物作用，使廢氣分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，以達到凈化廢氣的目的。電場的設(shè)計使廢氣分子的運動速度較低，零點幾秒內(nèi)便能使其負載足夠的電荷。帶電粒子在電場中會受到電場力（庫侖力）的作用，使廢氣分子被吸附至陽極，因此凈化率非常高。粒子電離后產(chǎn)生的電子平均能量約為1eV~10eV，因此控制反應(yīng)條件可以使反應(yīng)變得十分快速。

　　相比其它廢氣處理方法，等離子體技術(shù)具備能耗低、使用便利、無二次污染等特點。大流量低溫等離子廢氣治理裝置為真正意義上的等離子體廢氣治理技術(shù)。所要治理的廢氣通過等離子體區(qū)，使之離子化，形成電離狀態(tài)，在高能電子和粒子的轟擊下，加之等離子體態(tài)中豐富的氧化活性基團，在較短的時間類分解反應(yīng)成為二氧化碳、水或是小分子化合物。而非單純的依靠臭氧來氧化反應(yīng)。這種等離子體治理廢氣的技術(shù)正是國內(nèi)、環(huán)保部等鼓勵發(fā)展的技術(shù)，在國內(nèi)處于應(yīng)用推廣階段，其技術(shù)在國內(nèi)處于水平。