雙折射晶圓 WPA 200薄膜應(yīng)力測量儀雙折射晶圓 WPA 200薄膜應(yīng)力測量儀
產(chǎn)品簡介
WPA-200系列是Photonic lattic公司以其光子晶體制造技術(shù)開發(fā)的產(chǎn)品，測量技術(shù)，高速而又精確的測量能力使其成為光學(xué)測量產(chǎn)品。該產(chǎn)品在測量過程中可以對(duì)視野范圍內(nèi)樣品一次測量，全面掌握應(yīng)力分布?？蓽y數(shù)千nm高相位差分布的萬用機(jī)器，適合用來測量光學(xué)薄膜或透明樹脂。量化測量結(jié)果，二維圖表可以更直觀的讀取數(shù)據(jù)。全自動(dòng)數(shù)顯WPA-200硅片應(yīng)力儀一級(jí)代理商
主要參數(shù)表 :
型號(hào)
WPA-200
WPA-200-L
測量范圍
0-4000nm
重復(fù)性
<1.0nm
像素?cái)?shù)
384x288
測量波長
523nm,543nm,575nm
產(chǎn)品尺寸
310x466x605.5mm
450x593x915.5mm
觀測到的區(qū)域
100x136mm
250x340mm
重量
20kg
26kg
數(shù)據(jù)接口
GigE（攝像機(jī)信號(hào)） RS232C（電機(jī)控制）
電壓電流
AC100-240V（50/60Hz）
軟件
WPA-View
應(yīng)力雙折射儀應(yīng)用領(lǐng)域：
玻璃，顯示組件，注塑塑料件，拉伸纖維，光纖器件，微影手提袋，鏡片毛坯，鏡片，硅片，礦產(chǎn)，激光晶體，液態(tài)晶體，雙折射晶體等。
應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)WPA-200主要特點(diǎn):
•
操作簡單，測量速度可以快到3秒。
•
采用ＣＣＤCamera，視野范圍內(nèi)可一次測量，測量范圍廣。
•
測量數(shù)據(jù)是二維分布圖像，可以更直觀的讀取數(shù)據(jù)。
•
具有多種分析功能和測量結(jié)果的比較。
•
維護(hù)簡單，不含旋轉(zhuǎn)光學(xué)濾片的機(jī)構(gòu)。
主要應(yīng)用：
·光學(xué)零件（鏡片、薄膜、導(dǎo)光板）
·透明成型品（車載透明零件、食用品容器）
·透明樹脂材料（PET PVA COP ACRYL PC PMMA APEL COC）
·透明基板（玻璃、石英、藍(lán)寶石、單結(jié)晶鉆石）
·有機(jī)材料（球晶、FishEve）
技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng)次
項(xiàng)目
具體參數(shù)
1
輸出項(xiàng)目
相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應(yīng)力換算（選配）【MPa】
?
2
測量波長
520nm、543nm、575nm
?
3
雙折射測量范圍
0-3500nm
?
4
測量小分辨率
0.001nm
?
5
測量重復(fù)精度
<1nm（西格瑪）
?
6
視野尺寸
218x290mm-360×480mm（標(biāo)準(zhǔn)）
?
7
選配鏡頭視野
無選配
?
8
選配功能
實(shí)時(shí)解析軟件，鏡片解析軟件，數(shù)據(jù)處理軟件，實(shí)現(xiàn)外部控制，CD模式
