產(chǎn)品描述: MS763是一款生物學(xué)傳感器，所有的引線都在芯片的一側(cè)，適合用作植入式傳感器。焊盤都很大，以便焊接或粘接引線。壓力芯片的主要組成部分是MEMS硅片。植入電阻利用壓阻效應(yīng)感應(yīng)硅片的形變，并轉(zhuǎn)換成電信號。MS763有不帶耐熱玻璃的差壓傳感器（MS763-S）和帶0.2 mm厚Pyrex耐熱玻璃的絕壓傳感器（MS763-A）兩種型號。
特點(diǎn):
- 未經(jīng)補(bǔ)償?shù)膲毫π酒?/li>
- 尺寸小，用于植入式傳感器
- 引線在芯片一側(cè)
- 靈敏度：0.075mV/mmHg @ 5V
- 工作溫度：-40°C ~ +125°C
- 線性：0.15%（典型值）
- 芯片尺寸：1.0 x 2.20mm2
MS763是一個醫(yī)療用的絕壓或差壓傳感器。它被設(shè)計(jì)成植入型傳感器，所有的焊盤在一邊。邦定焊盤足夠大，方便粘接和邦定線。MS763的基礎(chǔ)組成是硅微機(jī)加工膜。植入的電阻利用壓阻效應(yīng)感知膜的變形。MS763可作為壓差傳感器（MS763-S),沒有耐熱玻璃, 或絕壓傳感器,帶有0.2mm 耐熱玻璃（MS763-A).0 到300 mmHg 壓力范圍 （0.4bar 或5.8PSI)；符合RoHS 和無鉛
全壓力范圍
| Kpa | bar | mbar | PSI | atm | mm Hg | m H2O | Inches H2O |
| 40 | 0.4 | 400 | 5.8 | 0.4 | 300 | 4.1 | 161 |
率
| 參數(shù) | 符號 | 條件 | Min | Max | Unit |
| 供應(yīng)電壓 | VS+ | Ta=25℃ | | 20 | V |
| 儲存溫度范圍 | Ts | | -40 | +125 | ℃ |
| 過壓 | | | | 20 | Bar |
電氣特性
(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)
| 參數(shù) | 最小 | 典型 | | 單位 | 備注 |
| 工作壓力范圍 | 0 | - | 0.4 | Bar | |
| 工作溫度范圍 | -40 | | 125 | ℃ | |
| 橋路電阻 | 3.0 | 3.4 | 3.8 | KΩ | |
| 滿量程 | 18 | 22.5 | 27 | mV | |
| 零點(diǎn) | -40 | 0 | 40 | mV | |
| 線性 | | ±0.15 | ±0.2 | %FS | 1 |
溫度系數(shù) 電阻 量程 零點(diǎn) | +2400 -1500 -80 | +2800 -1900 | +3300 -2300 +80 | ppm/℃ ppm/℃ μV/℃ | 2 |
| 壓力遲滯 | | 0.05 | ±0.15 | %FS | 3 |
| 重復(fù)性 | | 0.05 | ±0.15 | %FS | 4 |
| 溫度遲滯 | | | 0.3 | %FS | 5 |
訂購信息
| 產(chǎn)品 | 類型 | 產(chǎn)品說明 | 編號 |
| MS763-A | Absolute | 300mmHg Pressure Sensor 0.2mm Pyrex sawn on b/f | |
| MS763-S | Differential | 300mmHg Pressure Sensor sawn on b/f | |
The MS763 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings
