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MS761 壓力傳感器晶元

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MS761壓力傳感器晶元的基礎(chǔ)組成是在耐熱玻璃上真空封裝上硅微機(jī)加工膜

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MS761壓力傳感器晶元的基礎(chǔ)組成是在耐熱玻璃上真空封裝上硅微機(jī)加工膜。植入的電阻利用壓阻效應(yīng)。絕壓傳感器MS761-A在膜下面有個(gè)真空參考腔,差壓傳感器MS761-D的背面耐熱玻璃中間有個(gè)孔。0 到100kpa 壓力范圍 (1bar 或14.5PSI);高靈敏度;符合RoHS 和無(wú)鉛

全壓力范圍

KpabarmbarPSIatmmm Hgm H2OInches H2O

100

1

1000

14.5

0.987

750

10.197

401

參數(shù)

符號(hào)

條件

Min

Max

Unit

供應(yīng)電壓

VS+

Ta=25℃

20

V

儲(chǔ)存溫度范圍

Ts

-40

+125

過(guò)壓

5

Bar

電氣特性

(Reference conditions:Supply Voltage VS+=5Vdc; Ambient Temperature Ta=25℃)

參數(shù)

最小

典型

單位

備注

工作壓力范圍

0

-

1

bar

工作溫度范圍

-40

125

橋路電阻

3.0

3.4

3.8

滿量程

190

240

290

mV

零點(diǎn)

-40

0

40

mV

線性

±0.15

±0.4

%FS

1

溫度系數(shù) 電阻

量程

零點(diǎn)

+2400

-1500

-100

+2800

-1900

+3300

-2300

+100

ppm/℃

ppm/℃

μV/℃

2

壓力遲滯

0.05

±0.15

%FS

3

重復(fù)性

0.05

±0.15

%FS

4

溫度遲滯

0.3

%FS

5

訂購(gòu)信息

產(chǎn)品類型產(chǎn)品說(shuō)明編號(hào)
MS761-A

絕壓

1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f
MS761-A_0.2

絕壓

1 bar Pressure Sensor Die 0.2mm Pyrex sawn on b/f
MS761-D

差壓

1 bar Pressure Sensor Die sawn on b/f

The MS761 dice are supplied sawn on blue foil, mounted on plastic rings


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