工作過程中，清洗工作腔與外界密封隔離。

工作腔、旋轉(zhuǎn)支架及載片架均采用耐腐蝕不銹鋼，表面經(jīng)特殊嚴(yán)電化學(xué)處理；

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)精密的動(dòng)、靜平衡校驗(yàn)，保證系統(tǒng)工作時(shí)的平衡性、減少振源的產(chǎn)生。

精密的動(dòng)、靜平衡保證使得放硅片盒夾具與甩干機(jī)的位置無(wú)需一一對(duì)應(yīng)，操作方便。

采用寬頻率的特種阻尼器，精密減震及阻尼。使系統(tǒng)具有良好的減震效果。

采用驅(qū)動(dòng)電機(jī)，進(jìn)口變頻器，提速平穩(wěn)；采用磁力平衡制動(dòng)，速度快，制動(dòng)平均時(shí)間小于20秒。

特制噴頭和氣液流體控制系統(tǒng)，全自動(dòng)切換控制。

管道、閥門、接頭采用304不銹鋼、聚四氟材料和高純管件。

采用氣缸實(shí)現(xiàn)自動(dòng)開門手動(dòng)關(guān)門，平穩(wěn)安全可靠。

工作中采用防靜電控制。

頂蓋采用硅橡膠加熱板輔助加熱系統(tǒng)，保證頂蓋烘干后干燥不滴水。

程序設(shè)計(jì)可靠。速度調(diào)節(jié)，溫度調(diào)節(jié)，時(shí)間調(diào)節(jié)等每道程序指令用戶都可以在觸摸屏上任意設(shè)定、修改、保存。

運(yùn)行過程、內(nèi)容、信息（包括故障信息）在工作過程中均在觸摸顯示屏漢顯，操作人員對(duì)設(shè)備的工藝步驟、運(yùn)行狀態(tài)一目了然。

采用電子變頻調(diào)速技術(shù)無(wú)級(jí)調(diào)速，速度提升變換穩(wěn)定。

系統(tǒng)軟件具有故障實(shí)時(shí)顯示及報(bào)警功能。

所有電控元器件均采用國(guó)際國(guó)內(nèi)品牌。

采用微處理器檢測(cè)實(shí)時(shí)工作狀態(tài)。具有關(guān)門故障報(bào)警、超溫報(bào)警、驅(qū)動(dòng)電機(jī)過載報(bào)警、低油位報(bào)警、制動(dòng)故障報(bào)警、多種傳感器故障報(bào)警等；

具有整機(jī)漏電保護(hù)裝置和接地端子。