C12高低溫探針臺
產(chǎn)品概要
C12高低溫探針臺具有優(yōu)異的機械系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定，人體工程學(xué)設(shè)計，操作便捷，支持多功能升級，功能豐富全面。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路，LED，LCD，太陽能電池，半導(dǎo)體行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
基本信息
| 產(chǎn)品型號 | C12 | 工作環(huán)境 | 高低溫環(huán)境 |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | 操控方式 | 手動 |
| 產(chǎn)品尺寸 | 1400mm*920mm*920mm | 設(shè)備重量 | 150KG/170KG/250KG |
應(yīng)用方向
高低溫環(huán)境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，材料/器件的IV/CV特性測試、0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試、高頻、射頻測試等
| 規(guī)格 | SC-6 | SC-8 | SC-12 |
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1400mm*920mm*920mm |
| 重量 | 150公斤 | 約170公斤 | 約250公斤 |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz |
| 樣品臺 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 |
| 移動精度 | 1um |
| 切換樣品功能 | 樣品臺快速拉出 |
| 樣品固定方式 | 真空吸附 |
| 電學(xué)運用 | 電學(xué)獨立懸空，可作為背電極使用 |
| 針座平臺 | 規(guī)格 | O型平臺，最多可放置8個針座 | O型平臺，最多可放置10個針座 | O型平臺，最多可放置12個針座 |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um |
| 溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
| 溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C |
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 |
| 控溫速率 | ±0.1°C /小時 |
| 制冷方式 | 液氮制冷 |
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm |
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡氣動升降 |
| 放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X |
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） |
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） |
| 點針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm |
| 機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時） |
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 |
| 應(yīng)用方向 | 高低溫環(huán)境下，LD/LED/PD測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試等。 |
| 可選附件 | 探針卡夾具 | 防震臺 | 低電流/電容測試 |
| 顯微鏡暗場/DIC/Normarski 檢測光強/波長測試接口部件 | 鍍金卡盤 | 光纖夾具耦合測試選件 |
| 同軸叁軸卡盤 | 封裝器件夾具 |
| 射頻測試附件 | 光強/光譜/波長測試選件 | PCB/封裝夾具測試選件 |
| 高壓/大電流測試套裝 | 有源探頭 | 特殊定制 |
| 屏蔽箱 | 轉(zhuǎn)接頭 | |
| 特點 |
| 非真空環(huán)境下的低溫測試，可達(dá)-100℃ | 大手柄驅(qū)動，操作舒適，無回程差設(shè)計 |
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動 | 0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試 |
| 高等院校/研究所/公司實驗室使用 | LD/LED/PD的光強/波長測試 |
| 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試 | 材料/器件的IV/CV特性測試 |
| 同軸絲杠傳動結(jié)構(gòu)，線性移動 | 器件的高頻特性(支持至300GHz頻率) |
