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OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡

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LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)(彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共聚焦光學(xué)系統(tǒng))讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。

 OLS5000擁有四個(gè)關(guān)鍵價(jià)值

1.捕捉任意表面形狀

2.快速獲得可靠數(shù)據(jù)

3.使用簡(jiǎn)單-只需放好樣品按下按鈕即可

4.測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品

技術(shù)規(guī)格

型號(hào) OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
總倍率 54x - 17,280x
視場(chǎng)直徑 16um - 5,120um

測(cè)量原理 光學(xué)系統(tǒng) 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
彩色
彩色DIC
光接收元件

激光:光電倍增管(2ch)
彩色:CMOS彩色相機(jī)

高度測(cè)量 顯示分辨率 0.5nm
Linear scale 0.78nm
動(dòng)態(tài)范圍 16 bits
重復(fù)性*1 *2 *6 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm
準(zhǔn)確性*1 *3 *6 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm])
拼接圖像準(zhǔn)確度
 *1 *4 *6
10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm])
測(cè)量噪聲*1 *5 *6 1nm [Typ]
寬度測(cè)量 顯示分辨率 1nm
重復(fù)性 *1 *6 10x : 0.2μm, 20x:0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm
準(zhǔn)確度*1 *3 *6 測(cè)量值 +/- 1.5%
拼接圖像準(zhǔn)確度



*1 *3 *6
10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm])
單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 4096 x 4096 pixel
測(cè)量點(diǎn)的數(shù)量 36 Mpixel
XY 載物臺(tái)配置 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 無(wú) 無(wú) 無(wú)
工作范圍 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual 300 x 300 mm Motorized 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual
樣品高度 100mm 40mm 37mm 210mm 150mm
激光光源 波長(zhǎng) 405nm
輸出 0.95 mW
激光分類(lèi) 2類(lèi) (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光 LED
電氣功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
質(zhì)量 顯微鏡主體 約31 kg  32 kg 約 50 kg 43 kg  44 kg
控制箱 12 kg

*1 在 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時(shí)提供保證 (溫度: 20˚C±1˚C, 濕度: 50%±1%) 。

*2 在使用 MPLAPON LEXT系列物鏡測(cè)量時(shí). 
*3 在使用專(zhuān)用LEXT物鏡測(cè)量時(shí). 
*4 在使用20X或更高倍率專(zhuān)用LEXT物鏡測(cè)量時(shí). 
*5.在使用MPLAPON100XLEXT物鏡測(cè)量時(shí)的典型值

*6.基于奧林巴斯認(rèn)證體系保證

4K 掃描技術(shù)

4K Scan Technology

4K掃描技術(shù)可在X軸方向掃描4096像素,是傳統(tǒng)機(jī)型的四倍。由此提高了高度測(cè)量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了兩倍。OLS5000顯微鏡無(wú)需圖像處理就能檢測(cè)幾乎垂直的陡峭斜面和極低的臺(tái)階

智能判定功能

Capturing the true shape

由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用圖像平滑處理的方式來(lái)消除噪聲,有時(shí)會(huì)將測(cè)得的正確的細(xì)微高度不規(guī)則數(shù)據(jù)連同噪聲儀器消除。OLS5000顯微鏡采用奧林巴斯自動(dòng)檢測(cè)可靠數(shù)據(jù)的智能判定算法,可在不丟失細(xì)微高度不規(guī)則數(shù)據(jù)的情況下實(shí)現(xiàn)精確測(cè)量。

其他高分辨率測(cè)量技術(shù)

  • PEAK 算法
  • 雙共焦系統(tǒng)
  • Sq噪聲(測(cè)量噪聲)保證
  • 準(zhǔn)確性和重復(fù)性保證
  • 混合匹配算法
  • 混合式減振機(jī)構(gòu)
  • HDR 觀察







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