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激光共聚焦顯微鏡在OLED面板行業(yè)的應用

來源: 上海巨納科技有限公司    2022年05月06日 12:01  

OLED顯示技術即有機發(fā)光二極管,采用非常薄的有機涂層材料和玻璃基板,當有電流通過時,這些有機材料就會發(fā)光。因此,OLED屏幕可以做的更加輕薄,可視角度更大,并且能夠顯著節(jié)省耗電量。

OLED 與LCD 有著本質上的區(qū)別,主要通過電場驅動有機半導體材料和發(fā)光材料通過過載流子注入和復合后實現(xiàn)發(fā)光。從本質上來說,就是通過ITO玻璃透明電極作為器件陽極,金屬電極作為陰極,通過電源驅動,將電子從陰極傳輸?shù)诫娮觽鬏攲?,空穴從陽極注入到空穴傳輸層,之后分遷移到發(fā)光層,二者相遇后產生激子,讓發(fā)光分子激發(fā),經過輻射后產生光源。

NS3500激光共聚焦顯微鏡簡介

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NS3500激光共聚焦顯微鏡廣泛地用于OLED行業(yè),為了滿足測量的精度和測量范圍NS3500激光共聚焦顯微鏡不但可以支持非接觸測量,高精度測量,高分辨率,而且可以提供大范圍拼接能力。

相比較于普通的探針掃描儀,激光共聚焦顯微鏡有著更高的分辨率和測量精度。NS3500激光共聚焦顯微鏡采用的是針孔 成像技術,可以隔絕焦點外所有的信號,從而大大提高了圖像的分辨率,通過垂直移動物鏡,采用類似斷層掃面的方法,可以在短短幾秒鐘內獲得樣品的所有三維數(shù)據(jù)。因此根本不需要接觸樣品的表面。在進行測量之前也不需要對樣品進行預先處理,直接放到X,Y Stage上就可以進行測量,也不會損傷到樣品的表面。


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NS3500激光共聚焦顯微鏡在OLED行業(yè)的應用案例

案例一

OLED顯示技術具有明顯的優(yōu)勢,OLED屏幕厚度可以控制在1mm以內,而LCD屏幕厚度通常在3mm左右,并且重量更加輕盈。激光共聚焦顯微鏡可以測量OLED屏幕上的污染物,劃痕進行無損傷檢測,有助于對產品的質量把控。

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案例二.

OLED面板上MLA(微透鏡陣列)的檢測

微透鏡陣列作為一類重要的微光學器件,具有許多*的光學性紙,通過調整形狀、焦距、排布、占空比等參數(shù)可以對入射光束進行擴散、整形。均勻、聚焦、成像等調制,實現(xiàn)特定的功能。

微透鏡的排列方式根據(jù)基底形式和有效占空比的需要可以有很多種,這里主要介紹正交排列和蜂窩排列。如下圖所示,微透鏡有效占空比,是指微透鏡所占面積與其整個陣列面積之比。正交排列的微透鏡陣列的占空比K可以表示為

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OLED 排列.png


利用激光共聚焦顯微鏡可以有效對微透鏡陣列的深度、排布、占空比進行檢測,有助于提高產品質量的把控。

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結論

本文借助NS3500激光共聚焦顯微鏡對OLED制作流程中不同工序處理后地樣板進行測量研究,得到較好地表面形貌數(shù)據(jù)。激光共聚焦顯微鏡具備分辨率高,精度高,檢測速度快,無損等特點, 可以快速獲得樣品表面的三維信息。隨著OLED 工藝質量的提高,3D激光共聚焦顯微鏡必將成為OLED未來的主流。





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