軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實現(xiàn)了的能量分辨率。 和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的能量分辨率進(jìn)行分析，超過了WDS的能量分辨率。

性能特點(diǎn)

產(chǎn)品規(guī)格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV
分光譜儀艙安裝位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側(cè)）
FE-SEM的WDS接口（正面左后側(cè)）
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機(jī)型

EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F

應(yīng)用領(lǐng)域

電子探針可以對試樣中微小區(qū)域（微米級）的化學(xué)組成進(jìn)行定性或定量分析，可以進(jìn)行點(diǎn)、線掃描（得到層成分分布信息）、面掃描分析（得到成分面分布圖像）。還能全自動進(jìn)行批量定量分析。由于電子探針技術(shù)具有操作迅速簡便、實驗結(jié)果的解釋直截了當(dāng)、分析過程不損壞樣品、測量準(zhǔn)確度較高等優(yōu)點(diǎn)，在冶金、地質(zhì)、電子材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古以及其它領(lǐng)域中得到日益**地應(yīng)用，是礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。