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PCE-6V小型等離子清洗機

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產(chǎn)品簡介:PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。PCE-6V小型等離子清洗機的樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。設(shè)備體積小,操作簡單,應(yīng)用廣泛。

產(chǎn)品名稱

PCE-6V小型等離子清洗機

產(chǎn)品型號

PCE-6V

主要特點

1采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。

2、可短時間內(nèi)清洗掉有機污染物。

3、清洗程度可達(dá)到分子級。

4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能

5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。

6、樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。

7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

技術(shù)參數(shù)

1、電壓:AC220V  10A

2消耗功率:<500W(包括真空泵)

3、RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz

4、腔體:Ø190mm×98mm

5、石英管:Ø180mm×55mm,壁厚7mm

6、內(nèi)腔:Ø165mm×55mm

 7、清洗電極:Ø120mm 

8、樣品臺:Ø150mm,有效尺寸Ø140mm

9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調(diào)

 10、抽氣管:Ø12mm

 11、極限真空度:0.1Pa

 12、工作真空度:60Pa-500Pa

 13、氣路數(shù)量:2路(選裝)

 14、流量控制器數(shù)量:1、2

 15、流量顯示儀:2通道

 16、氣路接口:Ø6mm

 17、加熱樣品臺:Ø140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)

 18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa

 19、工作環(huán)境:溫度5-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵),重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

1、加熱樣品臺

2、流量控制器(量程1050、100,可增加通道數(shù)≤2


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