產(chǎn)品型號

PCE-8等離子清洗機

主要特點

1、采用6"彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。

2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計，可以精確地控制進氣流量。

技術參數(shù)

1、電源：AC220V

2、射頻功率：100W，可在0-100W間調(diào)節(jié)

3、真空泵功率：<500W

4、總功率：<600W

5、射頻：13.56MHz

6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑Ø8.5"，內(nèi)徑Ø8.2"，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封，法　 　 　 　 　 蘭設有一個Ø60mm的觀察窗口

7、極限真空度：50mtorr

8、通入氣體：可通入多種氣體，如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：620mm×450mm×600mm

可選配件

1、300W、600W射頻電源（進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗）

2、2"-6"石英舟（盛放基片）

3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng)

4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)

5、直連式雙旋真空泵（240L/min）

6、KF25波紋管

7、KF25手動擋板閥