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ATLEX-1000-I 系列*

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ATLEX-1000-I 系列*

高重頻，＞1000Hz

TMC外殼

電暈預(yù)電離技術(shù)

固體開關(guān)

激光頭尺寸＜3I

風(fēng)冷，熱管理

可沖洗光學(xué)架

集成4氣門系統(tǒng)，便于氣體處理

RS485，RS232，USB，FOC接口

帶有能量穩(wěn)定模式

CE歐標(biāo)，RoHS認(rèn)證


指標(biāo)：

氣體

ArF

KrF

波長（nm）

193

248

高壓開關(guān)

固體開關(guān)

固體開關(guān)

大重復(fù)頻率（Hz）

1000

1000

大脈沖能量(mJ)1)

10

15

大平均功率

8

10

脈沖寬度 （ns）

5-8

光束尺寸（V x H）(mm)2)

4x6

發(fā)散角（V x H）（mrad）2)

1x2

能量穩(wěn)定性

＜3%

尺寸 (mm)

540x470x370

重量 （kg）

60

冷卻方式

Air

供電要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase


1） 在低頻時測量；穩(wěn)定模式下，允許10%的能量和功率下降

2） 典型值，FWHM


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