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ATLEX-S 系列*

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ATLEX-S 系列*

超緊湊設(shè)計(jì)

高重頻

TMC外殼

電暈預(yù)電離技術(shù)

固體開關(guān)

激光頭尺寸<3I

風(fēng)冷,熱管理

可沖洗光學(xué)架

集成4氣門系統(tǒng),便于氣體處理

RS485,RS232,USB,FOC接口

帶有能量穩(wěn)定模式

CE歐標(biāo),RoHS認(rèn)證


指標(biāo):

氣體

ArF

KrF

波長(nm

193

248

高壓開關(guān)

固體開關(guān)

固體開關(guān)

大重頻(Hz

300

500

300

500

大脈沖能量(mJ)1)

10

15

大平均功率(W

2.4

4.0

4.0

6

脈沖寬度 ns

5-8

光束尺寸(V x H(mm)2)

4x6

發(fā)散角(V x H)(mrad2)

1x2

能量穩(wěn)定性

3%

尺寸 (mm)

630x400x300

重量 kg

65

冷卻方式

Air

供電要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase


1) 在低頻時(shí)測量;穩(wěn)定模式下,允許10%的能量和功率下降

2) 典型值,FWHM





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