接觸式三維形貌儀NanoMap-500LS利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測(cè)技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺(tái)掃描技術(shù)，并與壓電陶瓷（PZT）掃描*結(jié)合，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又呈現(xiàn)局部三維形貌像。其中樣品臺(tái)掃描參考平面使用超高平坦度光學(xué)拋光平臺(tái)，有效解決了以往樣品臺(tái)掃面，由于絲杠公差引起的測(cè)試結(jié)果有亞微米量級(jí)的誤差。

利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測(cè)技術(shù)和超平整參照面-大型樣品臺(tái)掃描技術(shù)，并與壓電陶瓷（PZT）掃描*結(jié)合，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又呈現(xiàn)局部三維形貌像。其中樣品臺(tái)掃描參考平面使用超高平坦度光學(xué)拋光平臺(tái)，有效解決了以往樣品臺(tái)掃面，由于絲杠公差引起的測(cè)試結(jié)果有亞微米量級(jí)的誤差。

主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺(tái)階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測(cè)量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過(guò)于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個(gè)高精度測(cè)量的新時(shí)代。

三維輪廓儀熱噪聲是同類產(chǎn)品zui低的。垂直分辨率可達(dá)0.1 nm 可測(cè)跨學(xué)科、跨領(lǐng)域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料（金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…）；

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