產(chǎn)品測試原理類似于干涉顯微鏡，焦平面掃過樣品表面，與焦平面相交的點(diǎn)產(chǎn)生干涉條紋，計算機(jī)記錄干涉條紋出現(xiàn)的時間和位置還原出樣品表面形貌測試微小臺階高度。

提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數(shù)據(jù)輸出、數(shù)據(jù)自動動態(tài)存儲、自定義數(shù)據(jù)顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數(shù)據(jù)。表面統(tǒng)計的計算包括峰值和谷值分析?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。

主要特點(diǎn)：

◆微觀二維（2D）和三維（3D）形貌輪廓獲取
◆多種測量功能
將采樣數(shù)據(jù)運(yùn)算后,可獲得精確定量的面積（空隙率，缺陷密度，磨損輪廓截面積等）、體積（孔深，點(diǎn)蝕，圖案化表面，材料表面磨損體積以及球狀和環(huán)狀工件表面磨損體積等）、臺階高度、線與面粗糙度,透明膜厚、薄膜曲率半徑以及其它幾何參數(shù)等測量數(shù)據(jù)。

NanoMap-1000WLI
NanoMap-1000WLI臺階儀是非接觸式三維高清圖像的光學(xué)輪廓儀白光干涉儀器 - 白光干涉帶來了高的分辨率、 400萬像素的圖像、大的掃描范圍，可定制的波長范范圍，使用戶可以輕松靈活的的到任何表面形貌。提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數(shù)據(jù)輸出、數(shù)據(jù)自動動態(tài)存儲、自定義數(shù)據(jù)顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數(shù)據(jù)。表面統(tǒng)計的計算包括峰值和谷值分析?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項(xiàng)式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。用于階越高度測量的地區(qū)差異繪圖。
三維形貌儀主要應(yīng)用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現(xiàn)狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。
測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設(shè)備傳感器精度高，穩(wěn)定性好，材料應(yīng)用面廣。熱噪聲是同類產(chǎn)品zui低的。垂直分辨率可達(dá)0.01 nm （ phase-shift mode） 可測跨學(xué)科、跨領(lǐng)域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料（金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…）；
 
 
三維形貌儀
參數(shù)性能追尋持續(xù)改進(jìn)的目標(biāo)
 
AEP的技術(shù)致力于日新月異的改善產(chǎn)品性能參數(shù)。 欲了解的配置和性能，請與我們。
搭載多鏡頭          zui多可同時搭載6枚物鏡
Z軸聚焦范圍       0.1納米至10mm
手動旋轉(zhuǎn)平臺范圍             360度
高清圖像
 
2維、3維的直方圖等視圖
白光干涉可以呈現(xiàn)2維和3維圖像。利用所提供的軟件，通過設(shè)置一些選項(xiàng)、可以得到客戶需求的的曲線、標(biāo)繪、視圖（例如直方圖及雷達(dá)圖等）
 
成像光源
長壽命強(qiáng)光LED，用戶可自選波長范圍
白光干涉儀對其光源承諾*的十年質(zhì)保。高亮的LED允許成像樣品的反射率范圍從小于0.4%到*（高亮度的LED使反射率從小于0.4%到*的樣品均可清晰成像。）白光干涉光源承諾十年質(zhì)保。
三維形貌儀允許客戶改變可用波長掃描各種樣品。
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