電阻率是決定半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的重要參數(shù)，為了表征工藝質(zhì)量以及材料的摻雜情況，需要測(cè)試材料的電阻率。電阻/電阻率測(cè)試方法有很多種，常見四探針法和范德堡法。對(duì)于規(guī)則圓形的材料樣品，電阻率測(cè)試比較方便的方法是四探針法，數(shù)字源表四探針測(cè)半導(dǎo)體材料電導(dǎo)率認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表

簡(jiǎn)述

電阻率是用來表示各種物質(zhì)電阻特性的物理量，某種材料制成的長(zhǎng)為1米，橫截面積為1平方米的導(dǎo)體的電阻，在數(shù)值上等于這種材料的電阻率。它反映物質(zhì)對(duì)電流阻礙作用的屬性，它與物質(zhì)的種類有關(guān)，還受溫度、濕度等因素的影響。在實(shí)際中我們可能需要測(cè)試一些薄而平的材料的電阻率或是涂層的電阻率，這時(shí)我們需要使用四探針測(cè)試的方法來測(cè)試。四探針測(cè)試法簡(jiǎn)單的來講是將四個(gè)探針等距放置樣品上，外側(cè)兩個(gè)探針提供電流，內(nèi)部?jī)蓚€(gè)探針測(cè)試電壓，然后通過測(cè)得的數(shù)據(jù)算出電阻率。數(shù)字源表四探針測(cè)半導(dǎo)體材料電導(dǎo)率認(rèn)準(zhǔn)普賽斯儀表咨詢

測(cè)試方法

測(cè)試電路如圖所示，

四探針測(cè)試電阻率連接示意圖

注意：在2線模式下搭建和拆除電路，禁止在4線模式下插拔。

電路搭建完成后，我們點(diǎn)擊設(shè)置——輸出設(shè)置，將源表調(diào)為4線前面板輸出模式，然后點(diǎn)擊測(cè)量，將源表設(shè)置為電流源模式，設(shè)置源限值，點(diǎn)擊“OUTPUT”。得到測(cè)試值后通過計(jì)算公式計(jì)算電阻率。電阻率的計(jì)算公式為：

V是2、3間測(cè)得的電壓；

I是1、4間提供的電流；

w是樣品厚度；

k是樣品直徑與探針間距（s）之比和樣品厚度與探針間距（s）之比決定的修正系數(shù)。如圖所示

修正系數(shù)K值

取值K=K1K2，上面修正系數(shù)值可以通過查詢四探針使用手冊(cè)獲得。

     數(shù)字源表四探針測(cè)半導(dǎo)體材料電導(dǎo)率認(rèn)準(zhǔn)生產(chǎn)廠家武漢普賽斯儀表，武漢普賽斯儀表自主研發(fā)的高精度源表（SMU），可以在輸出電流時(shí)測(cè)試電壓，也可以在輸出電壓時(shí)測(cè)試電流。輸出電流范圍從皮安級(jí)到安培級(jí)可控，測(cè)量電壓分辨率高達(dá)微伏級(jí)。支持四線開爾文模式，適用于四探針測(cè)試，可以簡(jiǎn)化測(cè)試連接，得到準(zhǔn)確的測(cè)試結(jié)果。

     上位機(jī)軟件指導(dǎo)電阻率測(cè)試步驟，測(cè)試方法清晰明確，即使不熟練的工程師也能迅速掌握測(cè)試方法。內(nèi)置電阻率計(jì)算公式，測(cè)試結(jié)束后直接從電腦端讀取計(jì)算結(jié)果，方便靈活的做后續(xù)處理分析系統(tǒng)主要由源測(cè)量單元、探針臺(tái)和上位機(jī)軟件組成。四探針可以通過前面板香蕉頭或者后面板三同軸接口連接到源表上。