產(chǎn)品名稱: Optitherm lll 產(chǎn)品類別: 發(fā)射率自動測量儀 產(chǎn)品簡介: 在CVD、MBE和MOCVD反應過程中，Optitherm lll發(fā)射率自動測量系統(tǒng)通過光纖鏡頭和脈沖激光器可以準確地測量單個或多個晶片的溫度。Optitherm lll 可以監(jiān)測著被測光潔材料的不斷變化的發(fā)射率，從而使得紅外測溫設備可以達到±3℃的精度。該主動式測量技術不同于傳統(tǒng)的被動式測量技術。

Optitherm lll發(fā)射率自動測量儀

美國！

簡要描述：

在CVD、MBE和MOCVD反應過程中，Optitherm lll 發(fā)射率自動測量系統(tǒng)通過光纖鏡頭和脈沖激光器可以準確地測量單個或多個晶片的溫度 。

Optitherm lll 可以監(jiān)測著被測光潔材料的不斷變化的發(fā)射率，從而使得紅外測溫設備可以達到±3℃的精度。該主動式測量技術不同于傳統(tǒng)的被動式測量技術。

    Optitherm lll 通過主動式反射測量技術得到目標的發(fā)射率(E%)，從而得到目標的實際溫度(Te)。當接收測量紅外輻射時,在同一時間,位置,波段自動測量被測物光潔表面的反射,獲得準確的實際溫度。微處理器以極快的速度(1ms)將這些值傳遞給PC，PC快速計算并記錄下目標的實際溫度，從而實現(xiàn)即時的過程控制。

   Optitherm lll 可以應用在各種各樣的應用中，如：生產(chǎn)制造、芯片加工或研究與開發(fā)等其他一系列與準確溫度測量方面的應用。

技術：

Optitherm lll 使用了技術,基于紅外技術的激光來測量目標的發(fā)射率及真實溫度。

一個低功率的砷化鎵脈沖激光器發(fā)出脈沖激光，通過特定的光路(激光通道)發(fā)射到被測目標上的測量區(qū)域，激光反射信號和紅外輻射信號通過另一個光路(輻射通道)返回。激光信號(AC)在目標信號(DC)之上。監(jiān)控發(fā)出的激光能量并加上幾何因素(包括測量距離)，Optitherm lll 可以得到被測目標的反射率及發(fā)射率。測量過程中，僅接收目標輻射出的以激光波段為中心的非常窄的帶寬的波段，這使其可以在特殊應用中得到較高的精度。

Optitherm lll 內(nèi)置了5種操作模式：遠程控制模式，由PC通過命令操作和控制；自動模式，在一定時間內(nèi)持續(xù)輸出數(shù)據(jù)，時間可調(diào)；單一模式，僅適用其溫度測量功能；間隔模式，在特定的時間定序內(nèi)測量；離線模式，用于安裝和校準功能。

● 紅外輻射和發(fā)射率的自動測量

● 溫度范圍: 250°C- 1500°C

● 溫度精度: ±3°C

● 6 個波段可選:

808、850、905、940、980和 1550nm

● 數(shù)據(jù)采樣率可達 1 ms

● 數(shù)字接口： RS232

● 每秒鐘向PC端輸出70個讀數(shù)

● 測量光斑最小可達0.25"，大小可調(diào)

實際應用：

 ● 半導體薄片溫度測量

  ● 晶片的生產(chǎn)和研發(fā)

  ● 光潔表面的測量

  ● 反應過程的溫度測量:

CVD 反應器

MBE 反應器

MOCVD 反應器

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