測針分辨率  

全量程內可選 30nm /12nm/6nm

濾波  

RC；Gau?；Formfilter

輪廓參數依據
DIN EN ISO 4287標準
JIS B-0601

Pp; Pv; Pz; Pc; Pa; Pq; PSm; Pdq; Pdc; Pt; Pku; Psk; Pmr

波紋度參數依據
DIN EN ISO 4287標準
JIS B-0601

Wp; Wv; Wz; Wc; Wa; Wq; WSm; Wdq; Wdc; Wt; Wku; Wsk; Wmr

粗糙度參數依據
DIN EN ISO 4287標準
JIS B-0601

Ra; Rz; Rp; Rv; Rc; Rq; RSm; Rdq; Rdc; Rt; Rku; Rsk; Rmr

粗糙度參數依據
DIN EN ISO 13565-2標準

Mr1; Mr2;  A1; A2; Rpk; Rvk; Rk

Motif 汽車行業(yè)標準
DIN EN ISO 12085標準

AW; W; Wx; Wt; AR; R; Rx

Z軸測量范圍

225 mm

325 mm

425 mm

225mm(275mm可選）

X軸測量范圍

225 mm

325 mm

425 mm

225mm(270mm可選）

X軸Z軸全量程分辨率

0.002µm

0.02µm

測量精度

+/-(0.5+L/100)µm
輪廓測量wucha：0.01%-1%(玻璃標準半球)

輪廓測量wucha：0.01%-1%(玻璃標準半球)，測量精度 ：+/- (1.5+L/100)µm

針尖分辨率

小于3nm

小于30nm

測量系統(tǒng)

CNC控制X / Z / T軸高精度增量光柵測量系統(tǒng)

測量力(軟件可自動調節(jié))

0 -150 mN

10 -150 mN

測量速度

0.1 - 2mm/s 軟件動態(tài)調節(jié)最佳測量速度

取樣長度

0.008/0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8(mm) 或自定義

測量長度

1-10 倍截取長度或自定義測量長度

濾波

Gaussian; 2RC; λs-Filter

放大倍數

標尺 1:1 至 5000:1

可選針尖半徑

0.002mm 至 1mm

爬坡能力

上坡78, 下坡87

校準器

標準配置并帶有校準證書

測量工作臺

3 種高度 30/50/70mm，3 種行程 25/50/75mm, 機械/電動/CNC控工作臺可選

基座mm

950 x 380 x 725

1150 x 380 x 725

1150 x 380 x 725

950 x 380 x 725

重量                                            

150 kg

180 kg

200 kg

150 kg