主要特征：
    三軸導軌均采用高精密天然花崗巖，具有相同的溫度特性及剛性
 三軸導軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導軌受磨損
 單邊驅動活動橋式結構，顯著提高運動性能，確保測量精度及穩(wěn)定性
 Y軸采用整體燕尾式導軌，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度及穩(wěn)定性
 歐洲開放式金屬光柵尺，分辨率0.4 um
 控制系統(tǒng)采用歐洲高速高精度自動控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)內嵌32位微處理器，真正實現(xiàn)實時控制
 三軸均采用大功率驅動器、電機及雙級減速裝置，確保傳動迅速、準確
規(guī)格型號與技術指標：