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PVA SIRD

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PVATeplaSIRD(原名JenaWave)ScanningInfra-RedDepolarization非接觸式內(nèi)應(yīng)力檢測系統(tǒng)主要原理:Wafer下方有一個(gè)激光源

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PVA&Tepla SIRD(原名Jena Wave) Scanning Infra-Red Depolarization 非接觸式內(nèi)應(yīng)力檢測系統(tǒng)

主要原理:
Wafer 下方有一個(gè)激光源,激光通過偏光器變成水平方向的一束激光透過wafer,被樣品上方的Photo Diodes 接收,若wafer 無應(yīng)力,激光會直接透過wafer 而不會發(fā)生任何改變,相應(yīng)的P 則不會接收到任何信號,對應(yīng)的數(shù)值為0,最后得到的D 值為0,說明樣品內(nèi)部無應(yīng)力,若wafer 內(nèi)部有應(yīng)力,則激光的光束會變成橢圓形,再被分光鏡分光,這時(shí)P 就會接收到相應(yīng)的信號,最后算出的D 值則大于0,說明樣品內(nèi)部有應(yīng)力。


主要應(yīng)用:
由于wafer 內(nèi)部的應(yīng)力會導(dǎo)致產(chǎn)品在后續(xù)的工藝過程中產(chǎn)生缺陷,所以需要在wafer 制作時(shí),或者在wafer 出貨到fab 廠時(shí),量測wafer 內(nèi)部的應(yīng)力,確認(rèn)是否可以出貨,或者用于后續(xù)的工藝過程,SIRD 用于monitor 產(chǎn)品各個(gè)工藝過程中產(chǎn)生的內(nèi)部的應(yīng)力,確認(rèn)機(jī)臺何時(shí)需要更換parts,或者需要檢修,減少缺陷,提高產(chǎn)品良率。


應(yīng)用實(shí)例:





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