EM-30臺式掃描電鏡擁有EM-20型全部優(yōu)秀特征以外，加速電壓調節(jié)范圍擴展到30KV，首先對于選配EDS的用戶，分析能力獲提升，其次獲得更高電子光學分辨能力，有效放大倍數(shù)進一步提高。另外EM-30樣品臺增加了馬達驅動傾斜臺，由酷塞目[COXEM]NanoStation計算機導航自動操作，不但可實現(xiàn)立體對觀察，而且通過對樣品臺精細地調節(jié)角度，可使用樣品室SE探測器獲得良好的背散射電子圖像。

產品簡介
    EM-30臺式掃描電鏡擁有EM-20型全部優(yōu)秀特征以外，加速電壓調節(jié)范圍擴展到30KV，首先對于選配EDS的用戶，分析能力獲提升，其次獲得更高電子光學分辨能力，有效放大倍數(shù)進一步提高。另外EM-30樣品臺增加了馬達驅動傾斜臺，由酷塞目[COXEM]NanoStation計算機導航自動操作，不但可實現(xiàn)立體對觀察，而且通過對樣品臺精細地調節(jié)角度，可使用樣品室SE探測器獲得良好的背散射電子圖像。  

技術特點：
      *自動高亮度電子槍，全數(shù)字化高壓電源，0.5KV~30KV范圍內隨意調節(jié)；
      *聚光鏡精細控制 Spot size設置10檔調節(jié)；
      *圓錐形物鏡，具有更高分辨性能；
      *四孔可變光闌，分別用于高分辨觀察和不同的分析目的。
      *實時灰度直方圖，自動亮度對比度；
      *X Y 兩軸自動樣品臺  
      *可選Bse探測器、低真空功能和能譜儀。
      *酷塞目NanoStation操作軟件，內含豐富的圖像編輯處理功能

技術指標：

分辨率：5nm＠30kv SEI 
電子槍：發(fā)叉式鎢絲陰極, 預對中燈絲
放大倍數(shù)：X20 to X100，000
加速電壓：1kV to 30kV 
探測器：SE Detector，EDS/BSE（可選） 
真空系統(tǒng)：全自動渦輪分子泵系統(tǒng)，高真空時間小于3分鐘  
樣品臺：X axis：35mm（馬達驅動） 
        Y axis：35mm（馬達驅動） 
        T  axis: 0~45°（馬達驅動）
        Z axis：5-50mm 
       R axis：360度 
樣品尺寸：45mm（H），70mm（Diameter） 
視頻采集分辨率（Pixel）：選區(qū)（320x240），TV（640x480），Slow（800x600）， 
                         Photo（1280x960，2560x1920，5120x3840） 
幀頻：選區(qū) （Max.30 frames/sec），
         TV   （Max.10 frames/sec） 
         Slow （Max.2 frames/sec） 
自動功能：一鍵成像，自動燈絲飽和，自動聚焦，自動亮度對比度
計算機操作系統(tǒng)：Windows 7 
操作方式：鍵盤/鼠標，全觸摸屏操作（可選） 
外形尺寸：400（W）x 600（L）x 550（H）mm 
重量：80kg