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光學(xué)數(shù)碼顯微鏡DSX1000

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奧林巴斯的光學(xué)技術(shù)和數(shù)字技術(shù)的融合,孕育出了新型光學(xué)數(shù)碼顯微鏡DSX,DSX光學(xué)數(shù)碼顯微鏡擁有的直觀操作和毫不動搖的可靠性,為全體用戶帶來了全新的顯微世界。

詳細(xì)信息 在線詢價

DSX 系列數(shù)碼顯微鏡將我們的光學(xué)技術(shù)與的數(shù)字技術(shù)融為一體。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡用于觀察和測量各種樣品,包括電子元件和金屬材料。此顯微鏡使用簡單,只要放上樣品,就可以輕松地完成 3D 觀察、測量、報告自動生成等一系列操作。




  • 放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺。

  • 可迅速切換物鏡和六種觀察方式。

  • 遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)保證了在整個放大范圍內(nèi)的測量準(zhǔn)確度。




放大倍率范圍 20–7,000X,可旋轉(zhuǎn)式載物臺

DSX1000 數(shù)碼顯微鏡新增了 5 個物鏡,物鏡總數(shù)達到 15 個。20-7,000X 的放大倍率范圍實現(xiàn)了精確觀察,而長工作距離物鏡則實現(xiàn)了對不規(guī)則樣品的觀察,例如電路板和機加工零件。顯微鏡頭部和載物臺都可以旋轉(zhuǎn)± 90°,更易于觀察和分析薄樣品,如晶圓,或大型樣品,如汽車部件。 

可調(diào)節(jié)的頭部和載物臺

顯微鏡頭部和載物臺可以分別旋轉(zhuǎn)






使用高分辨率長工作距離的物鏡

長工作距離使用戶能夠觀察不規(guī)則形狀的電子基板。 

207,000X 放大倍率下的晶圓圖像對比

可迅速切換物鏡和六種觀察方式

顯微鏡的電動變焦光路結(jié)合了的觀察功能,可實現(xiàn)六種觀察方法和對比度增強功能:明場、暗場、MIX、偏光、簡易偏振和微分干涉。偏光觀察和對比度增強功能可以突出樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。例如,此功能可用于在觀察晶圓表面較大的不規(guī)則形狀與細(xì)微破損和劃痕之間快速切換。從而用戶可以觀察到使用其他方法難以檢測到的對象。

太陽能電池圖像對比

(左圖:明場觀察,右圖:偏光觀察)

單側(cè)光線照射突出了表面的不規(guī)則形狀。該項技術(shù)適用于觀察不規(guī)則形狀、扭曲的樣品和槽口。

集成電路 (IC) 芯片圖像對比

(左圖:常規(guī);右圖:帶對比度增強功能)

色彩清晰明亮的圖像替代了明暗圖像。


遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)保證了在整個放大范圍內(nèi)的測量精確性。*


汽車制造商、精密設(shè)備和其他產(chǎn)品制造商必須精確測量和分析產(chǎn)品的規(guī)格,以證明產(chǎn)品的安全性。DSX1000 數(shù)碼顯微鏡使用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),在整個放大范圍內(nèi)圖像失真極低,實現(xiàn)了有保證的準(zhǔn)確度和重復(fù)性的高精度測量。為了確保準(zhǔn)確度,在完成 DSX1000 顯微鏡的安裝后,奧林巴斯的技術(shù)人員將根據(jù)客戶使用環(huán)境對每臺顯微鏡進行校準(zhǔn)。 

遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)和非遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的圖像采集對比圖

改變聚焦位置不會改變圖像大小。



     您只需要一臺 DSX1000 顯微鏡就可滿足各種觀察和分析需要,改善檢驗的工作流程。鏡頭數(shù)量增加至 15 個,涵蓋20-7,000X的放大倍率。用戶還可以利用該顯微鏡的六種觀察方法,對各種樣品進行觀察與測量。比如突出顯示樣品表面的不規(guī)則和輪廓形貌。顯微鏡頭部和載物臺可以分別進行± 90°的自由角度調(diào)節(jié),從而滿足對各種復(fù)雜外形樣品的任意角度觀察。另外,新開發(fā)的算法可以實現(xiàn)更快的 3D 圖像采集,與奧林巴斯傳統(tǒng)數(shù)碼顯微鏡相比,速度快了近十倍。最后,我們將根據(jù)每位用戶的工作環(huán)境校準(zhǔn)顯微鏡,以幫助用戶實現(xiàn)精確、高效的觀察和測量。


舒適的操作性能,傳統(tǒng)顯微鏡。

DSX系列并非操作顯微鏡本身, 而是通過直觀、易懂的GUI 畫面菜單進行操作。可根據(jù)用戶熟練程度選擇操作模式, 并通過觸摸屏、鼠標(biāo)、操縱桿等的全新操作方式, 實現(xiàn)了舒適的操作性能。無論是具備顯微鏡方面的知識和技能的操作人員, 還是對顯微鏡不熟悉的操作人員, 都能直觀的完成操作。

用于不同熟練度和用途的3個操作模式

在DSX系列上,根據(jù)用戶的熟練程度,優(yōu)化設(shè)計了2個GUI的操作模式:"標(biāo)準(zhǔn)模式"和"初級模式"。同時,還配置了可以自定義標(biāo)準(zhǔn)模式,專門用于常規(guī)工作的"操作員模式"。此外,根據(jù)啟動應(yīng)用程序時輸入的ID和密碼,可以調(diào)出各用戶設(shè)置的觀察、分析和測量條件等環(huán)境,顯示該用戶的常用畫面。

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初級模式

只要按照畫面的提示步驟操作,就能得到輸出的模式。

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標(biāo)準(zhǔn)模式

為了使顯微鏡的熟練操作人員能夠直觀完成操作,按照工作流程配置了必要按鈕等的模式。運用電動控制提高了操作速度。

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操作員模式

自定義標(biāo)準(zhǔn)模式用于常規(guī)工作的模式??梢蕴岣咧貜?fù)性工作的效率。

"宏觀地圖" ,不再遺漏觀察位置

無論是提高放大倍率縮小視場范圍,還是改變觀察方法進行暗視場觀察,都不再會遺漏觀察位置。觀察過程中的位置始終以明視場影像顯示在"宏觀地圖"上,正在觀察的部分一目了然。也可以將"全景功能"拼接的影像顯示在"宏觀地圖"上。

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"光學(xué)變焦",僅需一個鏡頭即可實現(xiàn)尺寸的觀察

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細(xì)膩的倍率調(diào)節(jié)可以隨心所欲、毫無壓力的完成。采用無縫放大和縮小,改變倍率時不會發(fā)生視場遺漏而錯過觀察位置。DSX510系列以13倍光學(xué)變焦搭配30倍數(shù)碼變焦,實現(xiàn)了高倍觀察。僅需一個物鏡幾乎就可以覆蓋傳統(tǒng)金相顯微鏡的倍率范圍??砂惭b兩個物鏡,相互組合能覆蓋更寬的倍率范圍。此外,相同倍率下切換物鏡,也不會改變視場尺寸。不僅如此,即使是有凹凸的樣品,利用專門設(shè)計的高NA長工作距離鏡頭,便可以完成檢查和測量而無需擔(dān)心發(fā)生碰撞。

"HDR"打造超越目視觀察的"清晰影像"

如果僅以加強燈光來處理"暗處泛黑(黑斑)"問題,反而會引起"亮處泛白(飛白)"的新問題。DSX系列的"HDR"(高動態(tài)范圍)功能,利用變換曝光拍攝的多張圖片進行合成,解決了該課題。不但表面微細(xì)凹凸得到強調(diào),同時還能消除光暈,獲得真實反映樣品表面的影像,因而輕松捕捉到以前難以分辨的缺陷。

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無論是暗視場影像還是DIC影像,"HDR"都可以一鍵完成清晰觀察。
 
利用"WiDER"實時觀察具有亮度差的樣品

"WiDER"可以解決實時影像中"黑斑"與"飛白"問題。通過大幅擴展動態(tài)范圍的的邏輯運算,只需一鍵單擊,就可以消除樣品表面亮度差,同時消除光暈,實現(xiàn)了以往難以實現(xiàn)的對明亮部分及黑暗部分的同步觀察。DSX510系列采用了全新的智能圖像處理技術(shù),不降低幀速率,是實時觀察的。

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只需一鍵單擊,就可以清晰的實時觀察有亮度差的樣品
 

單擊切換"多種觀察法"

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為了能夠提供適合觀察目的的觀察法,DSX510上配置了工業(yè)檢查中所必需的所有主要觀察法,不需要傳統(tǒng)顯微鏡上的復(fù)雜設(shè)置和調(diào)節(jié)。單擊一下就可以切換觀察法,所以顯微鏡的初級操作人員也能夠快速得到所需的影像。

可通過簡單的操作運用各種觀察法。能快速獲取所需的高分辨率影像。

DSX1000系列支持工業(yè)檢查中的主要觀察法,并在此基礎(chǔ)上搭載了MIX(BF+DF),實現(xiàn)了輕松檢測細(xì)微瑕疵、缺陷的功能。的光學(xué)系統(tǒng)為用戶提供作為檢查、測量的根本的高質(zhì)量影像。除此以外,使用"多圖預(yù)覽"功能,可以在觀察各種觀察法拍攝的影像一覽的同時選擇圖像,讓觀察法的選擇也變得簡單。


明視場
明視場觀察。光學(xué)顯微鏡中較普通的觀察法。


暗視場
暗視場觀察。斜向照射光線,強調(diào)傷痕等。缺陷檢查能力優(yōu)秀的觀察法。


微分干涉
微分干涉觀察。適用于凹凸不平的檢查對象。
 


偏振光
簡易偏振光觀察??梢杂^察包有透明保護膜的銅線等。


MIX
同時進行明視場觀察(BF)和暗視場觀察(DF)。是綜合了明視場的易觀察性和暗視場的檢測能力的觀察法。



利用"報告功能" ,迅速生成報告

使用DSX系列,可以在一個應(yīng)用程序上執(zhí)行從觀察到測量、報告生成的一系列操作。因此,只需在觀察、測量完成后,單擊一下按鈕即可生成報告。提前制作模板,即可簡單、快速生成繁瑣的報告。報告書可以輸出為RTF格式、PDF格式。


 

"彩色高亮顯示功能" ,強調(diào)目標(biāo)內(nèi)容

DSX系列搭載了"彩色高亮顯示功能",可以彩色顯示樣品的觀察所需部分,其他部分則以單色顯示。能夠拍攝更加明確的觀察對象,生成報告時可以使用更加輪廓鮮明的圖像。同時,還可以預(yù)先登記需要檢測的缺陷及雜質(zhì),提高檢查效率。


             預(yù)先登記需要檢測的缺陷及雜質(zhì),讓檢查變得更容易
 

能夠觀察到一般數(shù)碼顯微鏡上無法看到的"影像"。

DSX系列的高度可靠性,源自于的光學(xué)產(chǎn)品制造商奧林巴斯的DNA。像差少、分辨率出色的鏡頭及高度光學(xué)組裝技術(shù),實現(xiàn)了清晰、低失真兼具色彩重現(xiàn)性的高質(zhì)量影像。而為了提高畫質(zhì),對CCD及顯卡也進行了調(diào)整。極為忠實的再現(xiàn)實際樣品,實現(xiàn)了不同次元的"可視性"。
 

奧林巴斯的"高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)"實現(xiàn)了不同次元的"影像"

    凝聚了奧林巴斯DNA的光學(xué)系統(tǒng)

奧林巴斯在DSX系列產(chǎn)品的設(shè)計和制造中,不遺余力的投入了自己作為光學(xué)產(chǎn)品制造商長年積累的優(yōu)秀技術(shù)和經(jīng)驗。使至今為止數(shù)碼顯微鏡無法實現(xiàn)的照明均勻、沒有光斑、鮮明、高質(zhì)量的影像觀察成為現(xiàn)實。DSX500向您提供只有繼承了"奧林巴斯DNA"的光學(xué)系統(tǒng)才能拍出的不同次元的"影像"。

 

"專用物鏡"輕松實現(xiàn)高分辨率觀察

DSX1000新規(guī)格專用物鏡

為DSX1000新設(shè)計的專用物鏡,兼具高NA和長工作距離的優(yōu)點。只要調(diào)高焦距倍率就可以自動拍到高分辨率影像,所以即使是凹凸較大的樣品,也可以安心完成高清晰觀察。此外,還可以使用傳統(tǒng)的有著優(yōu)異分辨率和對比度的UIS2物鏡。

 

1800萬像素的"高性能、高靈敏度CCD**",再現(xiàn)質(zhì)量影像


     高性能、高靈敏度CCD模式

為真實再現(xiàn)高質(zhì)量光學(xué)系統(tǒng)所獲取的信息,采用了色彩再現(xiàn)性能的高性能、高靈敏度CCD模式作為處理引擎。同時搭載了實現(xiàn)高分辨率的像素轉(zhuǎn)換功能、數(shù)字影像處理功能--"細(xì)節(jié)處理",實時顯示每一部分都清晰鮮活的影像。
**4800×3600像素,3CCD模式換算下相當(dāng)于其3倍

 

"LED光源"同時實現(xiàn)準(zhǔn)確觀察與節(jié)能

確保正確觀察的同時,作為節(jié)能與低運轉(zhuǎn)成本兼容的新一代顯微鏡,采用了即使改變光量色溫也不變化的LED光源。使用壽命長,可節(jié)約維護開銷。
 

超越數(shù)碼顯微鏡的高度測量可靠性。

DSX1000的遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)及低重心機架等設(shè)計,隨處可見奧林巴斯對測量精度的堅持,實現(xiàn)了遠(yuǎn)遠(yuǎn)超越數(shù)碼顯微鏡的高度測量可靠性。而且,保證了測量值的真值近似率(正確性)及多次測量值的偏差率(重復(fù)性),幫助客戶進行正確測量。
 

雙重保證測量精度

DSX1000確保了2個測量精度指標(biāo)--XY方向倍率的"正確性"和多次測量偏差較小的"重復(fù)性"。從物鏡產(chǎn)品開始,根據(jù)可追塑性進行精度保證,因此可以發(fā)行校準(zhǔn)證書及溯源系統(tǒng)圖等證件。
※需要本公司服務(wù)人員進行校準(zhǔn)作業(yè)。



可以執(zhí)行2D、3D多種測量

DSX1000標(biāo)準(zhǔn)裝備了2D、3D測量所需的各種項目。不只是在XY平面內(nèi),還可進行Z方向測量,因此可從所有角度進行觀察、測量。另外還能使用同一應(yīng)用程序?qū)y量結(jié)果生成報告。

平面測量自動測量圓和矩形
屏幕上的幾何形狀和角度可以自動測量,主要測量項目包括兩點間距、平行線寬度、圓心距、3點定義角度及3點定義圓等。


 

卡尺測量(選購件)測量矩形和圓
在圖象上矩形或圓,可以自動進行卡尺測量。


 

粒子分析(選購件)自動分析圖象中粒子形狀
對圖象進行二值化處理,從圖象中提取的區(qū)域可以自動進行測量,通過閾值設(shè)定可以剔除小粒子、大粒子或凹坑填充。


 

3D剖面測量自動測量截面面積和曲率等
在屏幕上測量項目,如長度、線寬、截面積、弧度及相交角度等,就可以自動進行測量。


 

高度測量簡單操作就可以測量高度
高度方向的距離可以通過圖象上的測量點進行測量。也可以使用高度直方圖進行測量。
*高度測量僅針對三維圖象。


 

面積/體積測量表面積也可以自動測量
三維圖象中可以自動測量區(qū)域的面積、體積和表面積。直方圖或剖面上可以測量的閾值。


 

 

"低重心、厚重機架設(shè)計"及"振動修正功能",提供穩(wěn)定的觀察、測量環(huán)境

為了能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)定的高倍觀察,DSX系列采用了低重心和厚重機架設(shè)計。搭載"振動修正功能",可對來自外部環(huán)境的振動影響進行修正。即使在進行高倍率觀察、使用景深擴展功能或拍攝3D影像等情況下,也能得到毫不模糊的清晰影像。


              正                 有修正

 
遠(yuǎn)心照明實現(xiàn)高精度測量

DSX系列采用遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng),不會像數(shù)碼顯微鏡一樣出現(xiàn)因?qū)刮恢酶淖兌跋翊笮∫搽S之變化的現(xiàn)象。交貨時,會由專業(yè)人員在客戶的安裝環(huán)境下,對所有顯微鏡的功能進行確認(rèn)。
 

與OLYMPUS Stream并用,能夠?qū)?yīng)高精度分析

晶粒度分析等金屬組織評價分析,可以在影像分析軟件OLYMPUS Stream上完成。
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