1. 全鋁框架——堅固可靠

2.的三角形橫梁截面較傳統(tǒng)設(shè)計剛性提高25%，X向軌道重心降低50%，提高了尺寸測量穩(wěn)定性和精度。

3. 采用計算機輔助設(shè)計技術(shù)，如有限元分析（FEA）和模塊分析——使整機結(jié)構(gòu)在偏移、震動和運動過程中保持優(yōu)良特性。

4. 工作臺無側(cè)墻——方便工件裝載，可無限制接近工作區(qū)進(jìn)行測量。

5. 優(yōu)化的彈性振動系統(tǒng)，具備“可變剛性”——可隔絕周圍振動。

6. 高性能伺服電機及同步帶驅(qū)動——保證機器的加速度和定位精度

7. 精密加工橢圓齒型鋼絲增強同步帶——減少在高速掃描情況下的震動。

8. 完善的安全與碰撞保護(hù)——避免碰撞，減少維修成本。

9. 整合溫度傳感器——溫度變化時對誤差進(jìn)行補償

10. 配有遠(yuǎn)程診斷功能——使服務(wù)停機時間大大降低。

11. 采用高分辨率光柵系統(tǒng)—— 系統(tǒng)分辨率高達(dá)0.005um, 保證了機器精準(zhǔn)定位及高重復(fù)性

12. 可配備多測頭系統(tǒng)（傳統(tǒng)測頭、光學(xué)非接觸式測頭、接觸式粗糙度測頭）——滿足多種測量精度要求，實現(xiàn)其通用性。

13. XT選項——為15-30℃之間的測量提供高精度和可靠性。 

14. 高速選項——運行速度可提高到800mm/s，在進(jìn)出安全區(qū)時可自動減速和加速。

MPEE:自0.7μm起