總體規(guī)格特點(diǎn):

  l 重量:  80kg @6inch臺體，100kg @8inch臺體，120kg @12inch臺體

  l 尺寸:  580mm寬x520mm深x700mm高 @6inch臺體，

760mm寬x670mm深x750mm高 @8inch臺體，

930mm寬x900mm深x800mm高 @12inch臺體

  l 優(yōu)化的人體工學(xué)設(shè)計(jì)，便于工程師長時(shí)間舒適的操作。

針座臺面規(guī)格:

  l U型固定臺面，拋光不銹鋼+防腐氧化材質(zhì)，平整度：±3μm

l 平臺臺面快速線性升降，升降行程有0mm/0.3mm/3mm三檔扣調(diào)節(jié)，在探針點(diǎn)測時(shí)可以快速抬針，方便對待測點(diǎn)的重選擇

l 平臺臺面微調(diào)線性升降，微調(diào)升降行程20mm，精度1μm。在探針臺加裝探針卡點(diǎn)測時(shí)方便對待測點(diǎn)的復(fù)位，或者點(diǎn)測相同排列的待測點(diǎn)時(shí)，實(shí)現(xiàn)多根探針或光纖的高效重復(fù)測量。

載臺規(guī)格：（即chuck）

  l 6英寸/8英寸/12英寸載臺，平整度：±3μm，采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附尺寸為

0.5mmx0.5mm，吸附尺寸6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸英寸

l 載臺X-Y移動(dòng)平臺，行程6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，保證待測樣品的每一點(diǎn)都能夠點(diǎn)測到，同時(shí)配備微調(diào)旋鈕，微調(diào)精度為1μm，無回差線性調(diào)節(jié)

l 載臺X-Y移動(dòng)平臺可升級氣浮快速移動(dòng)，移動(dòng)范圍不小于6x6英寸/8x8英寸/12x12英寸，方便快速定位測試點(diǎn)

l 載臺Y方向快速抽進(jìn)抽出，行程2英寸，方便快遞取放樣品  

l 載臺水平θ角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，并微調(diào)±10°，微調(diào)精度0.01°

l 載臺電學(xué)獨(dú)立懸空，可接地或加載背柵電壓。

顯微鏡操控規(guī)格:

l 顯微鏡后側(cè)有X-Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y方向的移動(dòng)，移動(dòng)范圍50mmX50mm，精度1μm

l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦,細(xì)旋鈕方便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動(dòng)精度1μm

l 顯微鏡快速傾仰±30°功能，方便快速切換多組長焦物鏡，避免鏡頭切換時(shí)撞針

l 顯微鏡可升級Z軸方向氣動(dòng)快速升降功能，方便切換多組長焦物鏡和快速重復(fù)聚焦。