工業(yè)大尺寸樣品

原子力顯微鏡/掃描探針顯微鏡

• 具有完整自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工業(yè)大尺寸樣品掃描探針顯微鏡，探針掃描，滿足超大、超重樣品的檢測(cè)需求
• 系統(tǒng)功能集成了原子力顯微鏡、橫向力顯微鏡、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、壓電響應(yīng)力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡和納米加工等功能
• 具有接觸模式、輕敲模式、相移成像模式、橫向力（摩擦力）模式、抬起模式等多種工作模式和力-距離（F-Z）曲線、振幅-距離（RMS-Z）曲線、相移-距離（Phase-Z）曲線、摩擦力回路曲線、摩擦力載荷曲線、摩擦力恒載荷等測(cè)量分析功能
• 檢測(cè)頭輕量化設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)剛性和固有頻率高，有效提升了掃描探針組件的穩(wěn)定性
• 探頭對(duì)稱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，針尖固定于支承橫梁中點(diǎn)，能有效抑制環(huán)境溫度波動(dòng)導(dǎo)致熱漂移
• 采用電容傳感器的閉環(huán)壓電掃描臺(tái)，掃描的非線性和正交自動(dòng)校正
• 標(biāo)準(zhǔn)的12吋（300mm）樣品真空吸盤，吸盤具有軟件控制的多道真空吸軌，無需手動(dòng)操作開關(guān)閥門，自適應(yīng)2吋、3吋、4吋、6吋、8吋、10吋和12吋的不同規(guī)格的晶圓吸附固定
• 高分辨輔助光學(xué)顯微定位，實(shí)時(shí)觀測(cè)與定位探針以及樣品掃描區(qū)域
• 一次掃描技術(shù)，圖像分辨高達(dá)4096×4096物理象素，微米級(jí)掃描即可得到納米級(jí)的實(shí)際信息
• 控制系統(tǒng)采用TI的DSP+RAM雙核信號(hào)處理器，內(nèi)置二代的實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)spm/DNA,全數(shù)字控制
• PID反饋算法實(shí)現(xiàn)快速高精度作用力控制，確保系統(tǒng)在高速掃描中穩(wěn)定成像，實(shí)際掃描速度提升一個(gè)數(shù)量級(jí)，多重針尖保護(hù)技術(shù)，有效延長探針使用壽命
• 系統(tǒng)采用10M/100M快速以太網(wǎng)（Fast Ethernet 10/100）或USB3.0與計(jì)算機(jī)連接
• 主控機(jī)箱前面板具有16×4液晶顯示屏，實(shí)時(shí)顯示系統(tǒng)當(dāng)前狀態(tài)
• 具備實(shí)時(shí)在線三維圖像顯示功能，便于用戶在檢測(cè)過程中隨時(shí)直觀獲得樣品信息
• 具有簡(jiǎn)體、繁體和英文三種語言版本的在線控制軟件和后處理分析軟件，基于Windows 10系統(tǒng)開發(fā)，兼容Windows 11/8/7/Vista/XP全系列操作系統(tǒng)
• 具備雙向掃描(Trace-Retrace)、往返掃描、線掃描等多種掃描模式，并具備自動(dòng)更新掃描圖像亮度、對(duì)比度功能

技術(shù)參數(shù)

• 系統(tǒng)功能：原子力顯微鏡、橫向力顯微鏡、磁力顯微鏡、靜電力顯微鏡、壓電響應(yīng)力顯微鏡、掃描開爾文探針顯微鏡和納米加工等功能
• 工作模式：接觸模式、輕敲模式、相移模式、抬起模式（支持磁力和靜電力模式）、納米加工（圖形化刻蝕、壓痕/機(jī)械刻畫，矢量掃描）
• 樣品尺寸：直徑12吋（300mm）/ 厚度30mm / 質(zhì)量15kg
• 樣品固定方式：300mm真空吸附樣品臺(tái)，自動(dòng)適應(yīng)各種尺寸晶圓的全軟件控制的多道真空吸軌，無需手動(dòng)操作開關(guān)閥門
• 進(jìn)針模式：一鍵式全自動(dòng)探針逼近，逼近精度：50nm/step
• 檢測(cè)定位方式：軟件控制的行程300mm /精度5um二維工作臺(tái)，12吋無盲區(qū)精確自動(dòng)定位
• 掃描范圍：閉環(huán)100um×100um，傳感器：電容傳感器，閉環(huán)分辨率：優(yōu)于0.5nm，線性度：優(yōu)于0.02%