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工作臺(tái)100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm重復(fù)再現(xiàn)性0

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工作臺(tái)

100mm×100mm、150×150mm、200×200mm、300×300mm

重復(fù)再現(xiàn)性0.75μm以下

定位精度±3.0μm

物鏡

5×、10×、20×、50×、100×

照明

LED照明

AF

自動(dòng)聚焦激光方式

攝像頭

CCD 500萬像素

分辨率

LMPLFLN20× N.A0.40 W.D12.00mm 0.177μ/Pixel

LMPLFLN50× N.A0.50 W.D10.60mm 0.071μ/Pixel

測(cè)定再現(xiàn)性

0.1μm以下

軟件

專用軟件SLM101

測(cè)定功能

自動(dòng)線寬測(cè)定功能

選項(xiàng)

自動(dòng)傳送對(duì)應(yīng)



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