親眼見證創(chuàng)新！ 4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數(shù)分析儀，可以同步查看電流電壓(I-V)、電容電壓(C-V)和超快速脈沖式I-V 特性。作為性能的參數(shù)分析儀，4200A-SCS 加快了半導(dǎo)體、材料和工藝開發(fā)速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于GUI 的軟件提供了清楚的、不折不扣的測(cè)量和分析功能。憑借嵌入式測(cè)量專業(yè)知識(shí)和數(shù)百項(xiàng)隨時(shí)可以投入使用的應(yīng)用測(cè)試，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究過程，快速而又滿懷信心。
4200A-SCS 參數(shù)分析儀可以根據(jù)不同用戶需求進(jìn)行靈活配置，不管是現(xiàn)在還是未來，都可以隨時(shí)對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)。通過4200A-SCS 參數(shù)分析儀，通往發(fā)現(xiàn)之路現(xiàn)在變得異常簡(jiǎn)便。
主要性能指標(biāo)
I-V 源測(cè)量單元(SMU)
● ± 210 V/100 mA 或± 210 V/1 A 模塊
● 100 fA 測(cè)量分辨率
● 選配前端放大器提供了10 aA測(cè)量分辨率
● 10 mHz - 10 Hz 超低頻率電容測(cè)量
● 100 mF 負(fù)載電容
● 四象限操作
● 2 線或4 線連接
C-V 多頻率電容單元(CVU)
● AC 阻抗測(cè)量(C-V, C-f, C-t)
● 1 kHz - 10 MHz 頻率范圍
●± 30 V (60 V差分)內(nèi)置DC偏置源，可以擴(kuò)展到± 210 V(420 V 差分)
●選配CVIV 多通道開關(guān)，在I-V 測(cè)量和C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換
脈沖式I-V 超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)
● 兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖I-V 源和測(cè)量通道
● 200 MSa/s，5 ns 采樣率
● ±40 V (80 V p-p)，±800 mA
● 瞬態(tài)波形捕獲模式
● 任意波形發(fā)生器，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)
● 兩個(gè)高速脈沖電壓源通道
● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
● 任意波形發(fā)生器，支持多電平脈沖波形，10 ns 可編程分辨率
I-V/C-V 多通道開關(guān)模塊 (CVIV)
● 在I-V測(cè)量和C-V 測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換，無需重新布線或抬起探針
● 把C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子，無需重新布線或抬起探針
● 支持±210 V DC 偏置源
遠(yuǎn)程前端放大器/ 開關(guān)模塊(RPM)
● 在I-V 測(cè)量、C-V 測(cè)量和超快速脈沖I-V 測(cè)量之間自動(dòng)切換
● 把4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安
● 降低電纜電容效應(yīng)
為材料、半導(dǎo)體器件和工藝開發(fā)提供優(yōu)秀的參數(shù)分析儀
