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MDPmap 晶圓片壽命檢測(cè)儀

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特性靈敏度:對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測(cè)

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特性

靈敏度:對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測(cè),具有可視化測(cè)試的分辨率
測(cè)量速度:6英寸硅晶圓片,1mm分辨率 ,小于5分鐘
壽命測(cè)試范圍: 20納秒到幾十毫秒
沾污檢測(cè):源自坩堝和生長(zhǎng)設(shè)備的金屬(Fe)污染
測(cè)量能力:從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
靈活性:允許外部激光通過觸發(fā)器,與探測(cè)模塊耦合
可靠性: 模塊化和緊湊臺(tái)式儀器,更高可靠性,正常運(yùn)行時(shí)間> 99%
重現(xiàn)性: > 99.5%
電阻率:無需時(shí)常校準(zhǔn)的電阻率面掃描

用于研發(fā)或生產(chǎn)監(jiān)控的靈活檢測(cè)工具

       MDPmap是一個(gè)緊湊的離線臺(tái)式檢測(cè)設(shè)備,對(duì)生產(chǎn)控制或研發(fā)進(jìn)行無接觸電學(xué)參數(shù)特性檢測(cè)??蓽y(cè)量參數(shù)如載流子壽命、光電導(dǎo)性、電阻率、缺陷信息在穩(wěn)態(tài)或注入范圍寬短脈沖勵(lì)磁(μ-PCD)。自動(dòng)化的樣品識(shí)別和參數(shù)設(shè)置可以方便地適應(yīng)各種不同的樣品,包括在不同的制備階段,從生長(zhǎng)的晶圓片到高達(dá)95%的金屬化晶圓片的外延片和晶圓片。
       MDPmap主要優(yōu)點(diǎn)是其高度的靈活性,它允許集成最多4個(gè)激光器,用于從超低注入到高注入,對(duì)依賴于注入水平的少子壽命參數(shù)測(cè)量,或者使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。包括偏置光設(shè)置以及μ-PCD或穩(wěn)態(tài)注入條件選項(xiàng)。可以使用不同的圖譜進(jìn)行客戶定義的計(jì)算,也可以導(dǎo)出原始數(shù)據(jù)進(jìn)一步評(píng)估。對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量任務(wù),可用一個(gè)預(yù)定義的標(biāo)準(zhǔn),使常規(guī)測(cè)量只需按一個(gè)按鈕。 


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