CIS 系列封閉式離子源分析儀
憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測(cè)限、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶(hù)友好的 Windows 軟件包，CIS 系統(tǒng)將滿(mǎn)足您的應(yīng)用。在線過(guò)程監(jiān)測(cè)和控制、在使用點(diǎn)驗(yàn)證過(guò)程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過(guò)程設(shè)備泄漏檢查是這些系統(tǒng)的一些領(lǐng)域。
緊湊型設(shè)計(jì)
 鍍金離子發(fā)生器 |
該探頭由一個(gè)四極質(zhì)譜儀和一個(gè)安裝在 2.75" Conflat ® Tee 內(nèi)的 CIS 離子發(fā)生器組成?？刂茊卧苯影惭b在探頭的饋通法蘭上，并包含操作儀器所需的所有電子設(shè)備。CIS 接頭的側(cè)端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測(cè)器保持在高真空狀態(tài)的差動(dòng)泵系統(tǒng)連接。該系統(tǒng)可以通過(guò)其標(biāo)準(zhǔn) CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到處理室。該裝置是自對(duì)準(zhǔn)的，具有簡(jiǎn)單、堅(jiān)固的設(shè)計(jì)。您可以清潔和重新組裝探頭，并在現(xiàn)場(chǎng)更換燈絲和電子倍增器，而無(wú)需致電工廠。
鍍金離子發(fā)生器
整個(gè)離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區(qū)域中的除氣和背景信號(hào)，提高了長(zhǎng)期穩(wěn)定性，并允許在暴露于反應(yīng)性和腐蝕性氣體時(shí)進(jìn)行操作。使用鎢絲，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應(yīng)性氣體，并延長(zhǎng)使用壽命。電離器的封閉（氣密）設(shè)計(jì)可防止常見(jiàn)的干擾物質(zhì)回流到電離體積中。這會(huì)產(chǎn)生沒(méi)有光譜重疊的峰。
探測(cè)器的選擇
CIS 系列分析儀標(biāo)配法拉第杯檢測(cè)器（10 ppm 檢測(cè)）和連續(xù)打拿極電子倍增器（1 ppm 檢測(cè)）。該軟件允許您在檢測(cè)器之間輕松切換。
 電子倍增器 |
多功能性
CIS 系統(tǒng)也可以用于所謂的“RGA 模式”。在這種模式下，裝置具有較低的最小可檢測(cè)分壓，但也具有較低的工作壓力。例如，RGA 模式用于濺射工藝的階段，此時(shí)腔室被抽空至低壓，并檢查真空質(zhì)量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式，以便在較高壓力下直接采樣。
可編程性
提供標(biāo)準(zhǔn) RS-232 接口以及完整的編程參考。可以控制和監(jiān)控所有探頭參數(shù)，并且可以獲取數(shù)據(jù)以用于自定義應(yīng)用程序。
視窗軟件
 模擬模式 |
CIS 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的實(shí)時(shí) Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶(hù)界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。該程序是交互式的，使用戶(hù)可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進(jìn)行雙模式操作，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動(dòng)或自動(dòng)縮放。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或按給定時(shí)間間隔計(jì)劃采集數(shù)據(jù)，以進(jìn)行長(zhǎng)期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶(hù)可選擇的單位（ppm、Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視頻警報(bào)以及全面的在線幫助。該軟件允許通過(guò)簡(jiǎn)單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實(shí)現(xiàn)完整的 CIS 磁頭控制。為了進(jìn)一步分析，數(shù)據(jù)文件可以以 ASCII 格式保存，以便于傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護(hù)，使臨時(shí)用戶(hù)無(wú)法更改重要設(shè)置。
可選的獨(dú)立監(jiān)視器 ( PPM100 ) 可用于在沒(méi)有主機(jī)的情況下控制 RGA。
 壓力與時(shí)間 |
多頭操作
當(dāng)需要多個(gè) CIS 時(shí)，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個(gè) ECU。
泵送要求
CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎(chǔ)壓力低于10 -9 Torr的抽吸系統(tǒng)。連接端口是一個(gè) 2.75" Conflat ® 法蘭。選項(xiàng) O100TDP 提供一個(gè)渦輪泵，它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 頭上。訂購(gòu)此選項(xiàng)時(shí)，整個(gè)分析儀都在工廠組裝、測(cè)試和校準(zhǔn)。用戶(hù)可以提供自己的泵站；但是，用戶(hù)有責(zé)任確保泵系統(tǒng)不會(huì)損壞或限制儀器的性能。
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的性能
 圖書(shū)館模式 |
SRS CIS 系統(tǒng)以競(jìng)爭(zhēng)模型的一小部分成本提供的性能。標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)包括法拉第杯探測(cè)器、電子倍增器探測(cè)器和 Windows 軟件。選項(xiàng)包括用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊，以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件。
獨(dú)聯(lián)體尺寸圖
| 獨(dú)聯(lián)體參數(shù) | 范圍 | 獨(dú)聯(lián)體模式 | RGA模式 |
| 電子發(fā)射電流 (mA) | 0到1 | 0.05 | 0.5 |
| 電子能量 (eV) | 25 至 105 | 70 或 35 | 70 |
| 離子能量 (eV) | 4 或 8 | 4 或 8 | 4 或 8 |
| 提取電壓 (V) | 0 到 -150 | -50（典型值） | -50（典型值） |
靈敏度 (A/Torr)
（對(duì)于 N 2 @28 amu） |
| 10 -6 | 10 -5 |
| 線性范圍上限 (Torr) |
| 2×10 -3 | 10 -4 |
| MDPP (托) |
| 10 -8 | 10 -9 |
筆記
1. CIS 測(cè)試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進(jìn)行，由隔膜泵支持，連接到 CIS Cover Tee 的側(cè)端口。2. 報(bào)告的 RGA 模式靈敏度是針對(duì)低于 10 -5 Torr的 N 2
計(jì)算得出的。 3. CIS 模式靈敏度是針對(duì) N 2在 1 至 5 × 10 -4 Torr 下計(jì)算的。4. MDPP（最小可檢測(cè)分壓）通過(guò)在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情況下測(cè)量法拉第杯檢測(cè)的基線水平來(lái)確定
托（CIS 模式）。當(dāng)電子倍增器打開(kāi)時(shí)，可檢測(cè)性可提高多達(dá) 3 個(gè)數(shù)量級(jí)。
