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蔡司鎢燈絲電子顯微鏡

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商品說明

掃描電子顯微鏡
SEM3100

SEM3100具有出色的成像質(zhì)量和豐富的擴展性，將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發(fā)揮到。分辨率可達(dá)3 nm，超大樣品倉，可容納直徑為370 mm的樣品，以及諸多細(xì)節(jié)功能設(shè)計和特色功能，助您在顯微成像的世界中盡情探索。


商品參數(shù)

高性能高指標(biāo)

SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡，擁有超高的分辨率和出色的成像質(zhì)量。放大倍率連續(xù)可調(diào)，在不同的視場范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深，成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式，極大地擴展了SEM3100的應(yīng)用范圍。

分辨率

3 nm @ 30kV, SE

放大倍率

1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)

圖像保存

像素，6144 x 4096

加速電壓

1 kV ~ 30 kV

樣品尺寸

直徑370 mm，高73 mm

出色的成像效果

錫球

乙酰檸檬酸三乙酯

鈷酸鋰

低電壓

毛發(fā)，加速電壓3 kV

滌綸表面，加速電壓1 kV

纖維管表面缺陷，加速電壓1 kV

大視場、大景深、超大樣品倉

超大樣品倉

螺絲釘


豐富的擴展性

掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察，還可以進(jìn)行樣品表面的微區(qū)成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉，接口豐富，除支持常規(guī)的二次電子探測器（ETD）、背散射電子探測器（BSED）、能譜儀（EDS）外，也預(yù)留了諸多接口，諸如電子背散射衍射（EBSD）、波譜儀（WDS）、陰極熒光（CL）等探測器都可以在SEM3100上進(jìn)行集成。

背散射探測器

二次電子成像和背散射成像對比。背散射像下，樣品的荷電效應(yīng)明顯減弱，并且具有很好的成分襯度，適合進(jìn)行成分觀察。

能譜分析

水泥建筑材料SE和EDS分析結(jié)果，加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層

特色功能，更高的效率和更好的性能

光學(xué)導(dǎo)航

SEM3100標(biāo)配的倉內(nèi)攝像頭可拍攝高清樣品臺照片，助您快速定位樣品。

旋鈕控制板和鼠標(biāo)手勢

可通過旋鈕控制板或鼠標(biāo)滾輪/手勢快速調(diào)節(jié)聚焦和像散等參數(shù)，極大地提高成像效率。

動態(tài)圖
結(jié)果圖

動態(tài)像散

直觀反映像散程度，通過鼠標(biāo)點擊即可快速調(diào)節(jié)像散至。

動態(tài)圖
結(jié)果圖

快速調(diào)節(jié)圖像旋轉(zhuǎn)

拖動一條線，圖像立刻“擺正角度”。

細(xì)節(jié)設(shè)計，追求的易用性

人性化的軟件設(shè)計

所有控制功能集成在一個軟件界面上，純中文的操作界面，功能設(shè)計簡單易懂。無論是否有經(jīng)驗的用戶，簡單的了解后都可以快速上手。

30分鐘自動休眠

30分鐘無操作，SEM3100會自動進(jìn)入休眠模式，停止掃描并將電子束關(guān)閉，減少燈絲損耗，延長使用壽命。

換樣方便

拉開式倉門，給換樣操作留出寬闊的空間。也為倉內(nèi)清潔維護(hù)提供了方便。

面板功能按鈕

機身正面設(shè)計的啟動和放氣按鈕組合可快速換樣，拍樣完成后按下待機按鈕可一鍵待機！

優(yōu)中心樣品臺和真空電機

支持優(yōu)中心傾斜①樣品始終處于電子束下方，不同傾斜角度下，可獲取更豐富的形貌和成分信息。同時倉內(nèi)真空電機②簡化了傳動結(jié)構(gòu)，減少了真空漏氣可能性。

燈絲狀態(tài)自動監(jiān)測

自動檢測燈絲使用時間，以及燈絲工作狀態(tài)。讓您測樣和實驗安排“心中有數(shù)”。

防碰撞技術(shù)

采取多維度的防碰撞方案：1. 手動輸入樣品高度，精準(zhǔn)控制樣品與物鏡下端距離，防止發(fā)生碰撞；2. 基于圖像識別和動態(tài)捕捉技術(shù)，運動過程中對倉內(nèi)的實時畫面進(jìn)行監(jiān)測；3. 樣品臺硬件防碰撞，可在碰撞一瞬間停止電機，減少碰撞損傷。

三級減震

創(chuàng)新性的三級減震設(shè)計，可較好的過濾來自地面?zhèn)鱽淼牡皖l震動。同時，通過良好的工程設(shè)計，大幅減少了SEM3100自身運行產(chǎn)生的震動。

備注：
1、僅選配的五軸樣品臺支持; 2、標(biāo)配真空電機。

SEM3100應(yīng)用案例

電極箔截面

三元正極

鈷酸鋰

摻鋁四鈷

鈦金屬

硅碳負(fù)極材料

聚偏氟乙烯1

聚偏氟乙烯2

微流控芯片1

微流控芯片2

氧化鋁

多孔氮化硼陶瓷

泡沫鎳基底

表面氫氧化物附著

濾紙

碳材料

聚苯乙烯微球

纖維素管截面

微型探針表面

紡絲

參數(shù)

電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率
3 nm @ 30 kV
放大倍率
1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)
加速電壓
1 kV~30 kV
電子槍類型
預(yù)對中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍
成像系統(tǒng)
探測器（標(biāo)配）
二次電子探測器 (ETD)
探測器（選配）
背散射電子探測器、能譜儀EDS等
圖像尺寸
≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式
全自動閥
渦輪分子泵
240 L/S
機械泵
12 m3/h(50 Hz)
攝像頭
光學(xué)導(dǎo)航
樣品倉內(nèi)監(jiān)控
樣品室真空度
高真空下優(yōu)于9 X 10-4 Pa
樣品臺配置
三軸自動(標(biāo)配)
五軸自動(選配)
行程
X: 100 mm
X: 115 mm
Y: 100 mm
Y: 115 mm
Z: 60 mm
Z: 65 mm
/
R: 360°
/
T: -10°~ +70°
樣品尺寸
直徑：370 mm, 高：68 mm
直徑：370 mm, 高：73 mm
軟件
語言
中文
操作系統(tǒng)
Windows
導(dǎo)航
光學(xué)導(dǎo)航，手勢快捷導(dǎo)航
自動功能
自動亮度對比度，自動聚焦
特色功能
動態(tài)像散
安裝要求
房間
長 ≥ 3000 mm，寬 ≥ 4000 mm，高 ≥ 2300 mm
門寬
寬 ≥ 900 mm，高 ≥ 2000 mm
溫度
20 ~ 25 ℃
濕度
≤ 50%
噪聲
≤ 45dB
電氣參數(shù)
電源AC 220 V(±10 %)，50 Hz,2 kVA
地線
獨立地線一條，小于4 Ω
交流磁場
< 100 nT




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