系統(tǒng)簡(jiǎn)介光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測(cè)試，表面粗糙度檢測(cè)的理想非接觸式檢測(cè)工具

系統(tǒng)簡(jiǎn)介

光學(xué)輪廓儀是用于3D形貌定量測(cè)試，表面粗糙度檢測(cè)的理想非接觸式檢測(cè)工具。 可以測(cè)量各種材料的面形，提供各種參數(shù)，包括表面結(jié)構(gòu)，面形和臺(tái)階高度等等的2D和3D 圖形。與探針式接觸式輪廓儀相比，由于采用非接觸式的測(cè)量系統(tǒng)，沒(méi)有耗材，不會(huì)引起待測(cè)件的損傷。

IMOS nanoprofilometer光學(xué)表面輪廓儀設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊，具有兩種測(cè)量模式，可定量測(cè)量微米尺度和納米尺度表面形貌輪廓。具有測(cè)量速度快，測(cè)量精度高，性價(jià)比高的特點(diǎn)。

系統(tǒng)特點(diǎn)

測(cè)量各種材料的面形，包括平坦度，粗糙度，面形和臺(tái)階高度等

測(cè)量精度高，Z方向精度可打30pm

測(cè)量速度快，幾秒鐘內(nèi)可捕捉超過(guò)兩百萬(wàn)數(shù)據(jù)點(diǎn)。

與同類產(chǎn)品相比較（包括探針式接觸式輪廓儀）具有高性價(jià)比，

結(jié)構(gòu)緊湊，抗振隔振。

非接觸式的測(cè)量系統(tǒng)，沒(méi)有耗材，不會(huì)引起待測(cè)件的損傷。

操作簡(jiǎn)便，易于維護(hù)

支持大面積拼接測(cè)量

系統(tǒng)參數(shù)

測(cè)試實(shí)例