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MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM）

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公司名稱 北京科斯儀器有限公司
品牌
型號
所在地 北京市
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2015/12/11 8:00:00
訪問次數(shù) 1331

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

產(chǎn)品簡介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM），是目前世界上zui大的掃描電鏡，同時裝備多種不同的探測設(shè)備（背散射電子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）來滿足各種需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學和結(jié)晶體特性。幾乎對任何樣本都可實現(xiàn)非常準確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。

詳細信息在線詢價

MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM）

使用通常掃描電子顯微鏡時，面臨zui大困難之一是被測樣品大小的限制。通常情況下，只能對直徑在數(shù)十到一百毫米內(nèi)小的樣本進行研究，且只有一兩種關(guān)聯(lián)的分析工具。這限制了這一重要測試技術(shù)的應(yīng)用。LC-SEM克服了這一點，其超大真空室和光學系統(tǒng)擴展視圖功能zui大可容納直徑與高度分別達1.5米，重300kg的樣品，分辨率優(yōu)于10納米，放大倍數(shù)10倍-30萬倍，真空度10^-6毫巴，加速電壓30kv。從一粒沙子到一個柴油發(fā)動機大小的樣品，不必切小，僅用一臺儀器就可以做全面的檢查。其足夠大的空間還可進行原位觀察，實現(xiàn)零部件疲勞、應(yīng)力/應(yīng)變、磨損等非破壞性試驗研究。

LC-SEM 真空室和真空系統(tǒng)

LC-SEM試樣室有 3 m³、9 m³、12 m³三種型號，可觀察zui大試樣尺寸：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統(tǒng)裝配有強大的三個真空泵：旋片和轉(zhuǎn)子泵應(yīng)用于低真空，渦輪增壓泵應(yīng)用于高真空，可實現(xiàn) 10 ^-6mbar的高真空。該系統(tǒng)有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內(nèi)便可以實現(xiàn)所需的真空度。腔室設(shè)置有多層墻體保證了不受任何外部磁場的影響。

當一個人觀察一個小的對象時，會在手中扭轉(zhuǎn)對象，人眼-可視化系統(tǒng)是固定的。當觀察一個更大的物體時，人會在物體周圍左右移動，以便*觀察它。*種情況是類似于標準SEM的情況，而后者則反映了LC - SEM的情況。

LC -SEM 配備了定位系統(tǒng)，配備有一個5 +1旋轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)，電子搶、相機和各種探測器都懸掛在旋轉(zhuǎn)軸上，zui初是利用遠程控制來調(diào)整軸的角度和高度，使柱體的*位置相對迅速接近樣品的重點區(qū)域，再通過計算機控制移動電子槍和探測器以及完整的光學系統(tǒng)，可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過程中，還可以進行修改以便優(yōu)化信號接收。并且還可以移動試樣，這樣*地減少了試樣裝載次數(shù)。

四個電腦顯示器通過探測器跟蹤柱和樣品的運動以及觀察試樣表面特性和分析化學信息，軟件、電氣和機械接口通過一個單一的終端控制。

成像和分析系統(tǒng)

原位觀測

除了研究大樣本， LC–SEM還可應(yīng)用于在材料的變形行為的原位觀測以及在微系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域生產(chǎn)過程的現(xiàn)場觀測控制中。LC–SEM 也可以通過 “中斷監(jiān)控” 實現(xiàn)較大的工程部件的無損檢測實驗。例如，測試高壓泵的高負荷部件的摩擦特性，可以通過進行中斷監(jiān)控來研究。這些部件在正常工作一段時期后，可在 LC-SEM 中觀察研究，之后可以再立即工作，從而得到不同使用階段的摩擦特性。這種監(jiān)測系統(tǒng)的方式將打開一個全新的、廣闊的工程應(yīng)用領(lǐng)域，使得我們能夠獲得更直接、更詳細的對磨合和破壞過程的了解。

在LC-SEM內(nèi)的疲勞試驗

為了滿足評估原位變形特性研究的需要，將一個機械液壓疲勞試驗機融入到了腔室中，可以在LC - SEM中執(zhí)行疲勞測試。

在這種聯(lián)合測試中，不僅能確定材料過載臨界點，而且裂紋的生成與擴展也能被觀察和研究，晶體材料的特性能在執(zhí)行疲勞試驗后進行研究，由此顯微鏡轉(zhuǎn)換成了一個完整的測試設(shè)備，能提供完整的測試結(jié)果。該系統(tǒng)能使研究人員記錄材料裂紋聚集之前的結(jié)構(gòu)變化，同時能夠觀察微觀結(jié)構(gòu)對初期裂紋形成與擴展的影響。該系統(tǒng)還設(shè)計有一個節(jié)點控制機制，允許感興趣的點始終留在視野當中。本機的優(yōu)異的穩(wěn)定性，能夠*地改善疲勞、開裂現(xiàn)象的原位研究。

應(yīng)用實例：美國田納西大學--應(yīng)用LC-SEM的疲勞試驗

應(yīng)用行業(yè)

材料科學
軍事與國防
文化與考古
半導體和電子元件
醫(yī)藥與生物材料
法醫(yī)學

應(yīng)用領(lǐng)域

無損檢測
原位分析
故障分析
高精密小型生產(chǎn)、裝配控制
研究與開發(fā)

LC-SEM 技術(shù)規(guī)格參數(shù)

LC-SEM用戶

德國不來梅大學 Universität Bremen
德國漢諾威大學 Umiversitat Hannover
德國亞琛工業(yè)大學 RWTH Aachen University
德國埃爾蘭根—紐倫堡大學 Friedrich-Alexanqder-Universität Erlangen-Nûrnberg
德國多特蒙德工業(yè)大學  TU Dortmund
德國不倫瑞克工業(yè)大學 Technische Universität  Braunschweig
日本宇宙航空研究開發(fā)機構(gòu)（JAXA）
美國NOVA無損檢測中心  設(shè)在西肯塔基大學 Nondestructive Analysis （NOVA） Center
美國能源部國家核安全管理局的機構(gòu)   Y-12 National Security Complex
美國*裝備部延克*基地材料實驗室   Tinker AFB Materials Laboratory

電子光學
分辨率	優(yōu)于10納米
放大倍數(shù)	10x – 300,000x
加速電壓	0.2 – 30keV
探測器	二次反射通道倍增電子探測器四象限背散射電子探測器
分析能力	能量色散X射線光譜儀（EDS）
	電子背散射衍射（EBSD）
附加功能	聚焦離子束（FIB）
	傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）
	內(nèi)部攝像系統(tǒng)
圖像處理
軟件	MIRA控制系統(tǒng)
硬件	個人電腦，顯示器和打印機
真空系統(tǒng)
低真空泵	旋片泵，65立方米/ h
	旋轉(zhuǎn)式轉(zhuǎn)子泵，400立方米/小時
高真空泵	渦輪泵2400升/秒
極限真空	直至45分鐘后10^-6毫巴
真空室	3 m³; 9 m³; 12 m³

標本
zui大尺寸	高達直徑1500毫米，高度1500毫米
zui大質(zhì)量	300 kg,
定位系統(tǒng)
軸	5 +1微步控制軸系統(tǒng)
重復(fù)精度	±50 μm
定位范圍
X-軸	600mm, 1000mm, 1500mm
Z-軸	600mm, 1000mm, 1500mm
A-軸	90°
B-軸	135°
C-軸	360°
D-軸	350°

*的定位系統(tǒng)

產(chǎn)品更詳細介紹:

美國國家核安全管理局實驗室（Y12）LC-SEM應(yīng)用

美國*裝備部延克*基地材料實驗室 LC-SEM應(yīng)用

Visitec 超大試樣室掃描電鏡（LC-SEM）視頻介紹

北京科斯儀器有限公司

地址：北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)榮華南路16號中冀斯巴魯大廈1504

：100176

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通過裝備高級電子槍，LC-SEM有能力提供高于10nm的分辨率和高達30萬倍的圖像放大能力，加上強大的二次反射電鏡的通道倍增探測器，整個系統(tǒng)通過多個運行系統(tǒng)保證圖像的質(zhì)量。阻尼系統(tǒng)可以防止外部振動影響系統(tǒng)，同時電子槍和探測器有一個創(chuàng)新的冷卻循環(huán)系統(tǒng)。LC-SEM 和它的所有部件都采用100％的計算機控制，其系統(tǒng)全部使用Microsoft Windows ®的軟件設(shè)計。

通過分析系統(tǒng)的集成，在腔室的真空環(huán)境下，通過背散射電子成像、能量發(fā)散X射線光譜儀（EDS）和電子背散射衍射系統(tǒng)（EBSD），LC-SEM 擁有生成完整的測試結(jié)果的能力。LC-SEM 也可以配置聚焦離子束（FIB）和傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR）實現(xiàn)其擴展功能。LC-SEM的可變壓力方式還可以讓工程師和科學家做傳導和絕緣樣本的臨界面特性研究，包括金屬、陶瓷和金屬間化合物。