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MicroLine-300 一款桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)

參考價(jià) 900000
訂貨量 ≥1臺(tái)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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MicroLine-300是一款桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù):

◆    測(cè)量范圍(XYZ):標(biāo)準(zhǔn):200×200×25mm;可選:300x300x25
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸ju jiao范圍:25 mm

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

MicroLine-300是一款桌上型的半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)。

主要技術(shù)參數(shù):

◆    測(cè)量范圍(XYZ):標(biāo)準(zhǔn):200×200×25mm;可選:300x300x25

◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度:10nm(100X 鏡頭);Z軸ju jiao范圍:25 mm

◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量范圍:0.5um~400um;

◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量重復(fù)性(100x 物鏡):  晶圓上<0.010um(1δ);

                                                  掩模板上0.005um(1δ);  

◆    承重:2kg

◆    標(biāo)配鏡頭10x,可選鏡頭:5X, 20X, 50X, 100X

MicroLineTM 300是一款高性能測(cè)量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和精密移動(dòng)平臺(tái),可對(duì)200mm的晶圓上0.5µm到400µm的特征尺寸進(jìn)行全自動(dòng)的精密視場(chǎng)測(cè)量。

n  200 x200mm精密X-Y平臺(tái)

n  基于視覺(jué)的自動(dòng)ju jiao獲得某佳影像質(zhì)量

n  自動(dòng)照明可編程光強(qiáng)

n  用于測(cè)量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強(qiáng)勁性能

n  編程的序列,包括自動(dòng)ju jiao和關(guān)鍵尺寸測(cè)量

n  電動(dòng)的6目物鏡轉(zhuǎn)換器,軟件控制

n  可選的透射照明

技術(shù)規(guī)格:

- 測(cè)量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)

- 平臺(tái)運(yùn)行: 交叉滾軸手動(dòng)同軸定位和快速釋放

- 視場(chǎng)內(nèi)的測(cè)量精度: 0.010µm (用100x物鏡)

- 特征尺寸: 視場(chǎng)內(nèi)0.5µm - 400µm

- FOV測(cè)量重復(fù)性:<0.010µm on wafers (用100x物鏡)

<0.005µm on photomasks (用100x物鏡)

- 照明: 石英鹵素?zé)? 反射光

     自動(dòng)照明

- 低噪音CCD VGA格式攝像頭

- 圖像處理60幀每秒

MicroLine 300的典型應(yīng)用包括:

l  晶圓

l  光罩

l  MEMS

l  微型組件

測(cè)量類型:

n  關(guān)鍵尺寸:

線寬  Linewidth

節(jié)距  Pitch

間隙  Spacing

n  Overlay

           Multi-layer registration

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