長久以來，蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM一直是高分辨力與寬樣品適用性的代名詞。無論您從事的研究方向是什么，GeminiSEM都可以滿足您的需求。創(chuàng)新的電子光學系統(tǒng)和新型樣品腔室設計可讓您擁有更佳的圖像質量、易用性和靈活性。蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM兼具出色的成像和分析能力，不依靠浸沒式物鏡依然可以輕松實現1 kV以下的亞納米級分辨力。以下內容可以使您進一步了解Gemini電子光學系統(tǒng)的三大設計，探索蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM的應用潛能。

• 更靈活的成像工具 – 配備Gemini 1鏡筒的蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360可以實現各種樣品的高分辨成像、分析和各種應用需求的拓展。

• 更強大的分析能力 - 配備Gemini 2鏡筒的蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460可應對更加復雜的分析工作。連續(xù)可調的大束流使您可以在成像和分析條件之間無縫切換。

• 更的表征體驗 - 蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560配有Gemini 3鏡筒及其新型電子光學引擎，讓它在各種工作條件下均可發(fā)揮該系列的分辨率特性。

產品系列

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蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 360

蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 460

蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560

斯圖加特大學應用量子技術中心ZAQuant的Mario Hentschel博士描述了該小組正在研究的課題和應用、在實驗室中面臨的挑戰(zhàn)以及如何利用蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560應對這些挑戰(zhàn)。

“我們正在研究光學感應和檢測應用中最復雜的微結構和納米結構。因此，我們必須在納米尺度檢查和表征我們的器件。深入了解樣品信息不僅是過程控制和優(yōu)化的核心，在解釋感應和檢測方案中涉及的局部現象時也。除了單純的表面形貌信息外，我們也對納米材料組成分以及有意和無意的局部雜質感興趣。

"所有這些應用都要求電子顯微鏡具有高分辨率與樣品適用性。蔡司場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560可以很好地兼顧這兩點。它提供豐富的探測器選擇，從而能夠對表面高低起伏、材料襯度、表面邊緣以及樣品的所有不同特征進行成像和突出顯示。在日常工作中，我們經常面對差異極大的樣品如形狀大小不同材料組成不同，給顯微表征帶來了很大的挑戰(zhàn)。我們能夠對要求極為嚴苛且高難度的樣品（例如高度絕緣的聚合物和塑料）拍出高質量的圖像，使荷電效應的影響極小化。該系統(tǒng)可以在低倍和的放大倍率下成像。在不久的將來，場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560將被安裝在斯圖加特應用量子技術中心（ZAQuant）新建研究大樓的潔凈室中。ZAQuant的主要研究人員來自物理、機械、電氣工程、化學等不同領域，其應用千差萬別，因此不僅要保持優(yōu)異的成像性能，還必須確保樣品適用性。因此，場發(fā)射掃描電鏡GeminiSEM 560無疑將成為實驗表征的利器?！?/p>

 DE.Mario Hentschel博士，德國斯圖加特大學第4物理研究所和應用量子技術中心。