產(chǎn)品型號

SKCC-YCB-X（高真空磁控濺射永磁靶頭）

產(chǎn)品規(guī)格

2寸，SKCC-YCB-2

3寸，SKCC-YCB-3

4寸，SKCC-YCB-4

5寸，SKCC-YCB-5

6寸，SKCC-YCB-6

7寸，SKCC-YCB-7

主要特點(diǎn)

1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和永磁材料制作。

2、采用電磁場的有元計算法來設(shè)計永磁體，以得到較高的磁場強(qiáng)度和均勻分布。

3、的磁性材料冷卻裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計，避免冷卻水腐蝕磁性材料，延長其使用壽命。

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭，可與DC和RF電源相匹配。

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭，便于操作。

6、靶材更換較為簡單，無需調(diào)整濺射頭的高度。

配套電源

1、直流DC；2、射頻RF

備注

如需要折靶則：

2寸折靶，SKCC-YCB-2-Z

3寸折靶，SKCC-YCB-3-Z

4寸折靶，SKCC-YCB-4-Z