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高精度壓電馬達角位移臺(偏擺臺)

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高精度角位移臺角位移臺又稱為擺動滑臺、α軸擺動平臺等,是用在在小角度內精確旋轉物體的平臺,它提供的不是線性運動而是繞著空間固定一點進行旋轉

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高精度角位移臺

 

角位移臺又稱為擺動滑臺、α軸擺動平臺等,是用在在小角度內精確旋轉物體的平臺,它提供的不是線性運動而是繞著空間固定一點進行旋轉。

AU-SGO系列角位移臺由驅動,使用高精度交叉滾珠軸承,可提供的分辨率,并且行程可達到±5°,適用于微米或納米定位。該平臺可提供不同的旋轉半徑。主要包括以下產(chǎn)品。


AUSGO-60.5

AUSGO-77.5

AUSGO-93.5

Picture

Travel   [°]

±5

±5

±5

Max.   Normal Force [N]

5

5

5

Center   of Rotation [mm]

 (above working platform)

60.5  

77.5  

93.5   

Closed-Loop   Resolution [µrad]

0.03

0.03

0.03

Closed-Loop   Repeatability, Full Stroke MCS2 [µrad]

0.12

0.12

0.12

此外可以將兩個合適半徑的平臺組合在一起組成歐拉角位移臺,此外還可以與線性平臺組合組成多維運動系統(tǒng)。 另外該平臺還可以用于不同的環(huán)境下,例如真空和超高真空環(huán)境。

應用實例:

1、  具有六個自由度的定位系統(tǒng)(X;Y;Z;a;b;Zθ

角位移臺可以與我們的其它運動模塊組合組裝為多維運動系統(tǒng),如下圖所示,與兩個線性平臺和升降臺組裝成XYZ平臺,在XYZ系統(tǒng)的頂部安裝了兩個測角儀SGO-60.5和SGO-77.5,以及一個SR-5014,由于外部尺寸和安裝孔匹配,三個旋轉階段具有相同的旋轉中心(由綠色球體表示)。


主要特點

l  高精度(0.03µrad)

l  可在真空和非磁環(huán)境





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