測(cè)量范圍(mm)

外形尺寸(mm)

主機(jī)重量(Kg)

最大承受重量(Kg)

X

Y

Z

L

W

H

400

300

250

1600

950

1900

410

30

最大空間運(yùn)動(dòng)速度

最大空間運(yùn)動(dòng)加速度

465mm/s

870mm/s

測(cè)量精度

光學(xué)一維長(zhǎng)度測(cè)量誤差：EU X/Y(1D)(μm)

1.8+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

光學(xué)二維長(zhǎng)度測(cè)量誤差：EU XY(2D)(μm)

2.0+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

探針Z軸長(zhǎng)度測(cè)量誤差：EU Z (μm)

3.0+L/200  MPE符合JJF 1318-2011

二維探測(cè)誤差：PF2D(μm)

2.0        MPE符合JJF 1318-2011

影像測(cè)頭探測(cè)誤差：PFV2D(μm)

2.0        MPE符合JJF 1318-2011

1

主機(jī)及機(jī)臺(tái)

機(jī)身主體采用高精密天然花崗巖，具有穩(wěn)定的溫度特性和抗時(shí)效變形能力

2

控制系統(tǒng)

AR3網(wǎng)絡(luò)板，網(wǎng)絡(luò)接口主板及伺服電機(jī)以及驅(qū)動(dòng)做了全方面升級(jí)，Z軸帶剎車系統(tǒng)，保證機(jī)器的平穩(wěn)安全，定位更準(zhǔn)

3

Easson測(cè)量軟件系統(tǒng)

自動(dòng)版光學(xué)視覺(jué)量測(cè)軟件

4

相機(jī)

130萬(wàn)數(shù)字高清網(wǎng)絡(luò)相機(jī)

5

光柵尺分辨率

0.01μm絕對(duì)光柵

6

導(dǎo)軌

三個(gè)軸采用精密級(jí)滾珠絲桿導(dǎo)軌，速度有大提升，而且運(yùn)作平穩(wěn)

7

電機(jī)

直流伺服電機(jī)

8

鏡頭

旗辰Easson自主設(shè)計(jì)TC精密多段定倍自動(dòng)變倍自動(dòng)變焦遠(yuǎn)心鏡頭（標(biāo)配同軸光）實(shí)際倍率：30-145×

9

照明系統(tǒng)

5環(huán)8區(qū)LED冷光源各段獨(dú)立操控，256級(jí)亮度可調(diào)

10

品牌電腦

WIN7/WIN10

23.8高清

11

操作方式

搖控手柄、鼠標(biāo)拖運(yùn)、程序檢測(cè)

12

測(cè)頭

雷尼紹MCP測(cè)頭座壹個(gè)、Φ1、Φ2測(cè)針各壹根

房間溫度 (溫控間)   

18～22°C

溫度梯度(時(shí)間)

1°C /h

溫度梯度(時(shí)間)

2°C /24h

溫度梯度(空間) 

1°C /m

影像儀室濕度要求：

空氣相對(duì)濕度

40-70％

電源要求：

電壓

220V ± 10%

頻率

50/60 Hz

震動(dòng)

15Hz以下＜0.001g

耗電量

1000VA

用電設(shè)備要求接地可靠：接地電阻小于4歐姆