日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的*半導體器件，高分辨成像所設(shè)計。
新的電子槍和電子光學設(shè)計提高了低加速電壓性能。

品牌：日立

型號：SU9000

日立2011年新推出了SU9000超高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡，達到掃描電鏡高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進的真空系統(tǒng)和電子光學系統(tǒng)，不僅分辨率性能明顯提升，而且作為一款冷場發(fā)射掃描電鏡甚至不需要傳統(tǒng)意義上的Flashing操作，可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。
特點：
1. 新型電子光學系統(tǒng)設(shè)計達到掃描電鏡高分辨率：二次電子0.4nm（30KV），STEM 0.34nm（30KV）。
2. Hitachi設(shè)計的E×B系統(tǒng)，可以自由控制SE和BSE檢測信號。
3. 全新真空技術(shù)設(shè)計使得SU9000冷場發(fā)射電子束具有超穩(wěn)定和高亮度特點。
4. 全新物鏡設(shè)計顯著提高低加速電壓條件下的圖像分辨率。
5. STEM的明場像能夠調(diào)整信號檢測角度，明場像、暗場像和二次電子圖像可以同時顯示并拍攝照片。
6. 與FIB兼容的側(cè)插樣品桿提高更換樣品效率和高倍率圖像觀察效率。