TMC—STACIS Quiet Island主動(dòng)隔振器
半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動(dòng)假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃?xì)夤艿赖龋┖捅３謬?yán)格的清潔標(biāo)準(zhǔn)。這種地面不適用于對(duì)振動(dòng)敏感的生產(chǎn)、檢測(cè)和計(jì)量設(shè)備?；顒?dòng)地面無(wú)法為這些工具提供安靜的振動(dòng)環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個(gè)固定在下面底層地面上的“安靜島”替換一部分活動(dòng)地面區(qū)域，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個(gè)兼容潔凈室的平臺(tái)頂部和一個(gè)應(yīng)用和現(xiàn)場(chǎng)特定的支撐結(jié)構(gòu)。
消振
Quiet Island有的主要支撐元件和核心技術(shù)都集成在STACIS III主動(dòng)消振系統(tǒng)中。這種“剛性”式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動(dòng)敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以很高標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。STACIS III兼容自動(dòng)化晶圓加工工具、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動(dòng)或主動(dòng)內(nèi)部隔振系統(tǒng)的工具。此外，它還提供了 zui 寬 頻率范圍內(nèi)的 zui 大隔振性能。并且“硬安裝”設(shè)計(jì)非常堅(jiān)硬，因此對(duì)于較高、上重下輕的工具，不會(huì)出現(xiàn)穩(wěn)定性問(wèn)題。
立管和支架
用于支撐STACIS隔振器的極其堅(jiān)固實(shí)用的立管由TMC經(jīng)驗(yàn)豐富的工程團(tuán)隊(duì)設(shè)計(jì)，每個(gè)Quiet Island都經(jīng)過(guò)精心設(shè)計(jì)，適合各種活動(dòng)地面高度、底層地面幾何形狀和工具尺寸。TMC擁有豐富的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，可以設(shè)計(jì)滿足STACIS和您設(shè)施需求的支撐結(jié)構(gòu)。
剛性平臺(tái)
該平臺(tái)由一個(gè)經(jīng)TMC設(shè)計(jì)和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成，其中鋼板夾在一種輕質(zhì)、不可壓縮、阻尼的芯材料周圍。剛性鋼板和芯用環(huán)氧樹脂粘合到一個(gè)無(wú)縫不銹鋼盤中的分層效果提供了 ji 高 的剛度和結(jié)構(gòu)阻尼。大橫截面和鋼含量產(chǎn)生了非常高的整體剛度。頂部和側(cè)面是一個(gè)連續(xù)的一體式不銹鋼外殼，以保持清潔、美觀和完整性。TMC可根據(jù)需要設(shè)計(jì)和制造特定于應(yīng)用的平臺(tái)，包括切口、te 殊 形狀、固定孔和吊環(huán)螺栓。
TMC—STACIS Quiet Island主動(dòng)隔振器
優(yōu)勢(shì)
采用STACIS - TMC主動(dòng)壓電消振技術(shù)、“硬安裝”設(shè)計(jì)和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。
模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個(gè)平臺(tái)都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做，但與混凝土平臺(tái)不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺(tái)可以很容易地重新進(jìn)行配置。
專業(yè)知識(shí) - TMC擁有半導(dǎo)體制造商、科研機(jī)構(gòu)和超精密OEM合作的豐富經(jīng)驗(yàn)。我們了解客戶及其需求。我們自己設(shè)計(jì)和制造。
性能
在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、來(lái)自地面的VC-C輸入下測(cè)量傳遞率
規(guī)格
| 平臺(tái)表面 | 不銹鋼表面頂部和側(cè)面；
環(huán)氧涂漆鋼底部 |
| 平臺(tái)結(jié)構(gòu) | 專有的多層層壓鋼板 |
| 尺寸 | 量身定制 |
| 標(biāo)準(zhǔn)高度 | 15、18、20、24、30、36、48英寸
38、46、51、61、76、91、122厘米
還可提供定制高度 |
| 負(fù)載能力 | 量身定制 |
| 剛性立管和支架 | 獲認(rèn)證的焊接、全鋼結(jié)構(gòu)，
與潔凈室兼容的粉末涂層表面 |
| 可選附件 | 限制支架、平臺(tái)頂部吊環(huán)螺栓，
用于格子式底層地面的橋板 |
| 平臺(tái)頂部版本 | 切口、通孔、用于固定工具的螺紋孔 |
其他Quiet Island配置
不具有環(huán)境振動(dòng)規(guī)格的大型儀器通常需要一個(gè)與活動(dòng)地面分開的剛性且穩(wěn)定的支架。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺(tái)頂部，也可為任何高度、任何底層地面幾何形狀的活動(dòng)地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設(shè)計(jì)。TMC提供一系列不同類型的支柱，以滿足各種需求，從而形成了特定于儀器和工廠的模塊化、可靈活地重新定位和升級(jí)的解決方案。
