ZYGO 大口徑激光干涉儀由4英寸激光干涉儀主機(jī)經(jīng)過擴(kuò)束為大口徑系統(tǒng)，通常為雙通道，即4英寸測量通道和大口徑測量通道，具有多種高精度測量模式，如相位調(diào)制、波長調(diào)制、動態(tài)測量等。

大口徑激光干涉儀

? 激光干涉儀主機(jī)(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調(diào)制主機(jī))

? MUX分光器（光束轉(zhuǎn)換器）

? 擴(kuò)束器（12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選）

? 機(jī)械相位測量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長調(diào)制測量技術(shù)

? 參考光束-透射平板和參考平板是光學(xué)系統(tǒng)必需的附件

? 調(diào)整架-用于調(diào)整參考光束和測試光束的位置

大口徑激光干涉儀系統(tǒng)組件可以與干涉儀主機(jī)分開購買，如果您需要系統(tǒng)測量和配置方面的具體信息請