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STM-2XM 雙通道速率/厚度監(jiān)測儀

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

功能

  • 兩條測量通道
  • 用于速率、速率偏差或厚度的四個(gè)模擬輸出
  • 八個(gè)可編程的數(shù)字輸入
  • 八個(gè)可編程的數(shù)字輸出
  • 每秒 10 個(gè)讀數(shù)時(shí)的高精度
  • 顯示質(zhì)量或厚度
  • 共沉積監(jiān)測功能

典型應(yīng)用

  • 單/雙傳感器監(jiān)測
  • 共沉積監(jiān)測

規(guī)格

類型 STM-2XM
兼容傳感器 Single/shuttered single or dual QCM sensor
傳感器輸入 Two
測量頻率范圍 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
頻率分辨率 ±0.03 MHz at 6 MHz
參考頻率穩(wěn)定性 ±2 ppm
厚度和速率分辨率/測量 ±0.037 ? @ tooling/density = 100/1, fundamental frequency = 6 MHz
測量間隔 0.10 s
存儲薄膜 15
顯示模式 Thickness/Mass
數(shù)字輸入 Eight
數(shù)字輸出 Eight
模擬輸出 Four
模擬輸出額定參數(shù) 0 to +/-10 V, 10 mA
繼電器額定參數(shù) Up to 48 V (dc) ? V (ac), 2A
電源要求 120/240, 50/60 Hz, 2.5 VA

零件號

STM-2XM
零件號 明細(xì)
STM-2XM-G1 STM-2XM 監(jiān)測儀，美式電源線
STM-2XM-G2 STM-2XM 監(jiān)測儀，歐式電源線

附件

名稱 說明
Easy Rate Single Sensor
前裝式單傳感器
前裝式雙傳感器
炫酷抽屜單傳感器
炫酷抽屜雙傳感器
薄型雙傳感器
UHV 可烘烤傳感器
ALD 傳感器
濺射傳感器
零件號 明細(xì)
783-014-008 機(jī)架安裝套件 - 在一個(gè) 48.3 厘米（19 英寸）機(jī)架中安裝一個(gè) STM-2XM 儀器
783-014-009 雙機(jī)架安裝套件 - 在一個(gè) 48.3 厘米（19 英寸）機(jī)架中安裝兩個(gè) STM-2XM 儀器
Oscillator kits （包括振蕩器和電纜）
783-500-109-10 3 米（10 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 3 米（10 英尺）BNC 電纜
783-500-109-25 7.6 米（25 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜
783-500-109-50 15.2 米（50 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜
783-500-109-75 22.8 米（75 英尺）振蕩器套件 - 包括 OSC-100 振蕩器、15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜和 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜
Oscillator Only （未隨附電纜）
783-500-013 僅 OSC-100 振蕩器（無電纜）
Cables
782-902-011 15.2 厘米（6 英寸）BNC 電纜，公型/母型
782-902-012-10 3 米（10 英尺）BNC 電纜，公型/公型
782-902-012-25 7.6 米（25 英尺）BNC 電纜，公型/公型
782-902-012-50 15.2 米（50 英尺）BNC 電纜，公型/公型
782-902-012-75 22.8 米（75 英尺）BNC 電纜，公型/公型

耗材

名稱 說明
石英監(jiān)控器晶體

手冊

手冊

目錄

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