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  • 輕松方便地替換基于 OES 的儀器，實(shí)現(xiàn)更精確的終點(diǎn)控制
  • 消除因蝕刻不足或蝕刻過度導(dǎo)致的腔室清洗，降低時(shí)間和材料成本
  • 降低所需干凈氣流級別和成本
  • 無需執(zhí)行腔室窗口維護(hù)和更換，延長了工具運(yùn)行時(shí)間

手冊

  • Sion RF Detector for Endpoint Control |中文| |EN| |DE| |ES| |日文| |??|

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