Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命寬譜光源，采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，這種光源從170nm通過(guò)可見(jiàn)光到近紅外2100nm范圍內(nèi)亮度*、光譜平坦，壽命比傳統(tǒng)光源高一個(gè)數(shù)量級(jí)。

無(wú)電極Z-PinchTM  EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列

Energetiq*的技術(shù)基于Z-Pinch等離子體，但是*不使用電極而是通過(guò)電感將電流耦合進(jìn)入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過(guò)磁性遠(yuǎn)離光源內(nèi)壁，能夠?qū)嶝?fù)載消除到極低并減少殘留碎屑。Energetiq的無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)有的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率。

主要特點(diǎn)

• 輸出波長(zhǎng)13.5nm，2nm-4nmTM

• 輸出功率10W@13.5±1%（可選20W型號(hào)）

• 重復(fù)頻率2kHz（可選10kHz型號(hào)）

• 無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)

• 符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

主要應(yīng)用

• EUV度量學(xué)

• 耐EUV開(kāi)發(fā)

• 缺陷檢測(cè)

• EUV顯微學(xué)

• 水窗顯微鏡（XSR版本）

選型指南