NanoMap-O三維非接觸光學(xué)表面輪廓儀
們的高分辨掃描白光干涉儀是一個易于使用的光學(xué)計量學(xué)系統(tǒng)。廣泛地用于表征各種表面參數(shù)，像表面粗糙、尺度、臺階高度、薄膜厚度等，所有的測量都是快的非接觸的，結(jié)合高質(zhì)量的激光器、透鏡、低機(jī)器噪聲和技術(shù)，它能夠完成二百多萬像素的圖像。

NanoMap-O三維非接觸光學(xué)表面輪廓儀              
們的高分辨掃描白光干涉儀是一個易于使用的光學(xué)計量學(xué)系統(tǒng)。廣泛地用于表征各種表面參數(shù)，像表面粗糙、尺度、臺階高度、薄膜厚度等，所有的測量都是快的非接觸的，結(jié)合高質(zhì)量的激光器、透鏡、低機(jī)器噪聲和技術(shù)，它能夠完成二百多萬像素的圖像。

特征

? 非接觸基的技術(shù)

? 多余二百萬像素的圖像

? 0.001nm的分辨率

? Z軸范圍從nm到50mm

? XY掃描范圍達(dá)到150x150mm

? 超高分辨率數(shù)字成像傳感器同工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)比較，傳遞13倍的數(shù)據(jù)

? LED光源壽命多于15年

應(yīng)用

? 臺階高度測量

? 表面粗糙測量

? 定量的抓和挖的特征，呈現(xiàn)深度、寬度和體積

? 平面或曲率的測量

? 二維薄膜應(yīng)力測量

? 薄膜厚度

? 表面輪廓- 缺陷、形貌等