軟X射線探測(cè)器的軟X射線可直接照射探測(cè)器，無需閃爍晶體做轉(zhuǎn)換，
按可檢測(cè)X射線能量范圍不同及應(yīng)用的需要，分為AXUV,UVG和SXUV三大產(chǎn)品系列，zui低可檢測(cè)0.04nm的軟X射線，軟X射線探測(cè)器擁有快速響應(yīng)的探測(cè)器，響應(yīng)速度達(dá)到ps量級(jí)，多元陣列，積分放大電路，并可根據(jù)需要集成帶通濾光片，四象限位置傳感器（Quadrant PSD）
美國(guó)IRD公司,成立于1991年，專業(yè)生產(chǎn)用于UV,XUV,EUV和軟X射線檢測(cè)的硅材料探測(cè)器，是世界的射線探測(cè)器生產(chǎn)廠商。IRD公司為眾多研究機(jī)構(gòu)提供探測(cè)器，其生產(chǎn)的5mm-250mm硅光電管通過了美國(guó)NIST認(rèn)證，被為*合格供應(yīng)商。
IRD探測(cè)器的特點(diǎn)如下：
- 軟X射線可直接照射探測(cè)器，無需閃爍晶體做轉(zhuǎn)換
- 按可檢測(cè)X射線能量范圍不同及應(yīng)用的需要，分為AXUV,UVG和SXUV三大產(chǎn)品系列，zui低可檢測(cè)0.04nm的軟X射線
- 快速響應(yīng)的探測(cè)器，響應(yīng)速度達(dá)到ps量級(jí)
- 多元陣列，積分放大電路，并可根據(jù)需要集成帶通濾光片
- 四象限位置傳感器（Quadrant PSD）
AXUV系列
AXUV系列適用于真空紫外、極紫外和軟，由于不同于常見的pn結(jié)二極管，這些二極管沒有摻雜死區(qū)，加之零表面復(fù)合處理，可以在紫外/極紫外范圍內(nèi)，達(dá)到理想化的*內(nèi)部量子效率轉(zhuǎn)化。
IRD還提供與Cr,W,Au,Fe,Al等濾光片耦合的探測(cè)器，可以達(dá)到探測(cè)波長(zhǎng)的效果。
SXUV系列
由于在硅PN結(jié)光電二極管前耦合鉑硅化物入射窗，使得探測(cè)器可以探測(cè)超紫外光子（能量范圍4ev—12KeV）。這些探測(cè)器是專門為高通量的光子探測(cè)設(shè)計(jì)的，如配合使用在第三和第四代同步加速器和*。該系列二極管由超大規(guī)模集成電路制造而成。
IRD還提供與Zr，Si3N4,Si,SiC,Mo,Al濾光片耦合的探測(cè)器，可以達(dá)到探測(cè)波長(zhǎng)的效果。
當(dāng)脈沖能量超過20mJ,IRD還開發(fā)了帶衰減器的探測(cè)器，以減少UV/EUV脈沖射線對(duì)探測(cè)器的沖擊。
UVG系列
UVG系列PN結(jié)可以實(shí)現(xiàn)*的光生載流子收集效率，所以被使用在近紫外和真空紫外（600--160nm）。與傳統(tǒng)的二極管不同的是，這些二極管沒有摻雜死區(qū)，加之零表面復(fù)合處理，可以在紫外/極紫外范圍內(nèi)，達(dá)到理想化的*內(nèi)部量子效率轉(zhuǎn)化
