核心功能描述：
實(shí)現(xiàn)快速弧高及臺(tái)階測(cè)量：綜合放大倍率8.0x—100x ，支持偏角觀察功能。
可測(cè)弧高臺(tái)階范圍1.0um — 20mm（一般弧高的高度不超過(guò)800um）

 核心功能描述：
    實(shí)現(xiàn)快速弧高及臺(tái)階測(cè)量：綜合放大倍率8.0x—100x ，支持偏角觀察功能。
    可測(cè)弧高臺(tái)階范圍1.0um — 20mm（一般弧高的高度不超過(guò)800um）
    核心系統(tǒng)配置：
    用途
    1. 金線(xiàn)弧高測(cè)量
    2. 金線(xiàn)偏角觀察
    3. 臺(tái)階測(cè)量
    型號(hào)
    Wibon-50R
    樣品臺(tái)
    X平移、Y平移、R旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)*360度觀察
    聚焦
    電動(dòng)聚焦系統(tǒng)，影像自動(dòng)聚焦功能；Z軸線(xiàn)性反饋系統(tǒng)，
    解析率
    ：1.0um；
    探測(cè)系統(tǒng)
    特殊顯微組合設(shè)計(jì)；
    綜合放大倍率
    8.0x~100x；
    帶偏角觀察功能
    照明方式
    環(huán)形/ 同軸照明可選
    軟件系統(tǒng)
    全功能圖像處理軟件系統(tǒng)
    帶虛擬弧高算法功能
    檢查性能
    帶高品質(zhì)影像抓拍功能
    重復(fù)性精度：
    開(kāi)環(huán)控制 3σ<5.0um
    閉環(huán)控制 3σ<1.0um