日本小坂ET200臺階儀與AFM 的差異zui主要是觸針形狀不同，ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制，故幾乎無角度。

日本小坂與AFM 的差異zui主要是觸針形狀不同，ET（俗稱Alpha-step）是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制，故幾乎無角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK，差異是有些細微表面ET掉不進去，故nm以下的表面粗度則以AFM為主。
日本小坂主要特性
一. 再現(xiàn)性與線性度
再現(xiàn)性• • • 可達0.1nm
線性度• • •針對不同厚薄樣品，使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特別是針對thin film更佳
縱軸zui高解析度0.1nm
橫軸zui高解析度0.01um
可測定微細形狀
三. 低測定力
低測定力• • •效果可比擬非接觸
測定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意設(shè)置
可測定軟質(zhì)材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等.
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