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產(chǎn)品參數(shù)

測量粒徑

A 0.3um、2.5um、10um;                                                  B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0）um、10um;

C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;             D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;

E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;      F 0.1μm,0.2μm,0.3μm,0.5μm,1.0μm,5.0μm;

1、粒徑分布誤差：≤±30%

2、濃度示值誤差：≤±30%

3、重復(fù)相對偏差：≤±10%FS

4、重疊誤差：≤5%

5、氣體檢測：可測氣體濃度（可選配）

6、溫度范圍：-40 ～ 120℃

7、檢定標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1或 JJF1190

8、氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；

9、采樣時(shí)間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；

10、檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；

11、檢測方式：定時(shí)檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置     

12、報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值

13、限值報(bào)警：RS485信號(hào)報(bào)警或外接聲光報(bào)警器

14、法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等

15、合 規(guī) 性：符合ISO 21501-4，JIS B9921

16、通訊接口：RS232、R485、LAN-USB

17、存儲(chǔ)模式：實(shí)時(shí)、定時(shí)存儲(chǔ)可設(shè)置；無限制

18、打印模式：可選配微型打印機(jī)打印數(shù)據(jù)

19、工作條件：5 ～ 45℃、≤90%RH，無冷凝

20、多種探針可供選擇

產(chǎn)品特點(diǎn)

智能化設(shè)計(jì)與操作體驗(yàn)

7英寸高分辨率觸控屏：支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)可視化與交互操作，簡化流程。

雙電池?zé)岵灏蜗到y(tǒng)?：支持連續(xù)生產(chǎn)場景下的不間斷作業(yè)，電池更換無需停機(jī)。

USB數(shù)據(jù)接口與軟件升級(jí)?：便捷導(dǎo)出檢測報(bào)告，并可通過固件更新持續(xù)優(yōu)化性能。

提升制造效率

減少50%自凈時(shí)間?：通過量化表面污染數(shù)據(jù)，縮短設(shè)備維護(hù)周期（PM周期），提升產(chǎn)線吞吐量。

延長MTBC：結(jié)合顆?？刂撇呗裕P(guān)鍵設(shè)備可靠性提升4倍以上。

覆蓋高潔凈場景

半導(dǎo)體制造：晶圓表面、機(jī)臺(tái)內(nèi)腔等關(guān)鍵區(qū)域的潔凈度驗(yàn)證。

精密光學(xué)與電子：液晶面板、光學(xué)鏡片組件、醫(yī)療器械的表面污染控制。

符合國際標(biāo)準(zhǔn)

產(chǎn)品嚴(yán)格遵循ISO-14644-9表面粒子控制規(guī)范，為全球半導(dǎo)體廠商提供標(biāo)準(zhǔn)化檢測工具。